[发明专利]一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备有效
申请号: | 201910326863.0 | 申请日: | 2019-04-23 |
公开(公告)号: | CN110098142B | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 高建文 | 申请(专利权)人: | 中义(杭州)医药科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 杜丹盛 |
地址: | 311200 浙江省杭州市萧山区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,包括真空泵和吸嘴,还包括缓冲机构和加固机构,所述缓冲机构包括第一吸管、第二吸管、连接软管和至少两个缓冲组件,所述缓冲组件包括第二固定块、第一固定块、连接杆、弹簧和限位板,所述加固机构包括驱动组件和两个固定组件,所述固定组件包括第一传动杆、第二传动杆和支撑杆,所述驱动组件包括电机、丝杆、驱动块和两个轴承,该具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备中,在缓冲机构的缓冲作用下,减小了吸嘴对芯片的压力,则降低了芯片被压坏的几率,提高了芯片拾取设备的实用性,通过加固机构对吸嘴的加固作用,降低了吸嘴发生脱离的几率,进一步提高了芯片拾取设备的实用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 缓冲 加固 功能 芯片 拾取 设备 | ||
【主权项】:
1.一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,包括真空泵(10)和吸嘴(19),其特征在于,还包括缓冲机构和加固机构,所述真空泵(10)通过缓冲机构与吸嘴(19)连接,所述加固机构设置在缓冲机构上;所述缓冲机构包括第一吸管(11)、第二吸管(15)、连接软管(14)和至少两个缓冲组件,所述第一吸管(11)与第二吸管(15)同轴设置,所述第一吸管(11)与第二吸管(15)的相互靠近的一端分别与连接软管(14)的两端连接,所述第一吸管(11)的远离第二吸管(15)的一端与真空泵(10)连接,所述第二吸管(15)的远离第一吸管(11)的一端与吸嘴(19)连接,所述第一吸管(11)与第二吸管(15)的相互靠近的一端通过各连接组件连接;所述缓冲组件包括第二固定块(8)、第一固定块(7)、连接杆(12)、弹簧(13)和限位板(9),所述第二固定块(8)设置在第一吸管(11)的靠近连接软管(14)的一端的一侧,所述第一固定块(7)设置在第二吸管(15)的靠近连接软管(14)的一端的靠近第二固定块(8)的一侧,所述连接杆(12)与第一吸管(11)的轴线平行,所述连接杆(12)的一端与第一固定块(7)固定连接,所述第二固定块(8)的内部设有连接孔,所述连接杆(12)的另一端穿过第二固定块(8),所述第二固定块(8)与连接杆(12)滑动连接,所述限位板(9)与连接杆(12)的另一端固定连接,所述弹簧(13)套设在连接杆(12)上,所述第一固定块(7)通过弹簧(13)与第二固定块(8)固定连接,所述弹簧(13)处于压缩状态;所述加固机构包括驱动组件和两个固定组件,两个固定组件分别设置在第二吸管(15)的靠近吸嘴(19)的一端的两侧,两个固定组件关于第二吸管(15)的轴线对称设置,所述驱动组件设置在第二吸管(15)上,所述驱动组件与两个固定组件均连接;所述固定组件包括第一传动杆(16)、第二传动杆(18)和支撑杆(17),所述支撑杆(17)设置在第二吸管(15)的靠近吸嘴(19)的一端的一侧,所述第二传动杆(18)与第二吸管(15)的轴线平行,所述第二传动杆(18)的中部与支撑杆(17)的远离第二吸管(15)的一端铰接,所述第二传动杆(18)的靠近吸嘴(19)的一端抵靠在吸嘴(19)的一侧,所述第一传动杆(16)的一端与第二传动杆(18)的远离吸嘴(19)的一端铰接,所述第一传动杆(16)的另一端与驱动组件连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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