[发明专利]石墨舟夹具在审
| 申请号： | 201910322897.2 | 申请日： | 2019-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN110211906A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 刘军;王坤;王银;陆彦辉 | 申请（专利权）人： | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于工装夹具领域，尤其涉及一种石墨舟夹具，包括该夹具包括底座、卡轴以及卡帽，该底座两侧对称固定该卡轴，该卡轴远离该底座一端固定连接该卡帽，该底座与该卡轴之间设有该卡槽，该卡槽呈U型开设于该卡轴上，该卡帽至该卡槽之间设有倒角。本发明的石墨舟夹具，加厚卡帽可有效保护石墨舟夹具的磨损及意外触碰导致的损坏，增加石墨舟夹具使用寿命及减少产线返修率；同时倒角可降低因插不到位导致的碎片及不良，并方便清理夹具内异物；卡槽宽度小于常规U型卡槽间距，减小硅片与底座之间的空隙，使硅片与石墨舟片贴合更加紧密。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 石墨舟 卡轴 卡帽 底座 卡槽 硅片 倒角 加厚 底座两侧 对称固定 工装夹具 卡槽宽度 石墨舟片 使用寿命 返修率 异物 产线 触碰 减小 贴合 磨损 | ||
【主权项】：
1.一种石墨舟夹具，其特征在于，该夹具包括底座、卡轴以及卡帽，该底座两侧对称固定该卡轴，该卡轴远离该底座一端固定连接该卡帽，该底座与该卡轴之间设有该卡槽，该卡槽呈U型开设于该卡轴上，该卡帽至该卡槽之间设有一倒角。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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