[发明专利]石墨舟夹具在审
| 申请号： | 201910322897.2 | 申请日： | 2019-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN110211906A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 刘军;王坤;王银;陆彦辉 | 申请（专利权）人： | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹具 石墨舟 卡轴 卡帽 底座 卡槽 硅片 倒角 加厚 底座两侧 对称固定 工装夹具 卡槽宽度 石墨舟片 使用寿命 返修率 异物 产线 触碰 减小 贴合 磨损 | ||
【权利要求书】：
1.一种石墨舟夹具，其特征在于，该夹具包括底座、卡轴以及卡帽，该底座两侧对称固定该卡轴，该卡轴远离该底座一端固定连接该卡帽，该底座与该卡轴之间设有该卡槽，该卡槽呈U型开设于该卡轴上，该卡帽至该卡槽之间设有一倒角。
2.根据权利要求1所述的石墨舟夹具，其特征在于，该卡帽至该卡槽之间的倒角为54°~55°。
3.根据权利要求2所述的石墨舟夹具，其特征在于，该卡槽的宽度为0.3~0.4mm。
4.根据权利要求3所述的石墨舟夹具，其特征在于，该卡帽为圆形，厚度为1.29~1.39mm。
5.根据权利要求4所述的石墨舟夹具，其特征在于，该底座、卡轴以及卡帽为一体成型结构。
6.根据权利要求5所述的石墨舟夹具，其特征在于，该底座和卡帽的中心轴处于同一基准线上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
