[发明专利]石墨舟夹具

说明书

本发明属于工装夹具领域，尤其涉及一种石墨舟夹具，包括该夹具包括底座、卡轴以及卡帽，该底座两侧对称固定该卡轴，该卡轴远离该底座一端固定连接该卡帽，该底座与该卡轴之间设有该卡槽，该卡槽呈U型开设于该卡轴上，该卡帽至该卡槽之间设有倒角。本发明的石墨舟夹具，加厚卡帽可有效保护石墨舟夹具的磨损及意外触碰导致的损坏，增加石墨舟夹具使用寿命及减少产线返修率；同时倒角可降低因插不到位导致的碎片及不良，并方便清理夹具内异物；卡槽宽度小于常规U型卡槽间距，减小硅片与底座之间的空隙，使硅片与石墨舟片贴合更加紧密。

技术领域

本发明属于工装夹具领域，尤其涉及一种石墨舟夹具。

背景技术

在太阳能在太阳能电池片的制造过程中，硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的石墨舟上，具体操作过程是将硅片插入石墨舟并通过石墨舟夹具定位于其上，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。

目前使用的常规主要是两种：V型与U型；V型卡槽的槽内尺寸较小，在插片过程中硅片易造成划伤，另因V型卡槽空间细小易因沉积氮化硅而导致插取片过程崩边或缺角，影响产品合格率并且工艺过程中夹具烧焦严重；U型卡槽的槽体位置及卡帽斜度增大，相对减少了划伤、崩边问题；但是U型卡槽烧焦后，异物难以处理；还有其槽体为平行设计，如果硅片接触放置滑落槽底与舟叶吻合度不高，则气流会绕镀到正膜，对应正膜边缘夹具会形成绕镀印，影响正膜外观。

发明内容

本发明的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种减小硅片与夹具底座之间的空隙，使硅片与石墨舟贴合更加紧密的石墨舟夹具。

本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是：一种石墨舟夹具，包括底座、卡轴以及卡帽，该底座两侧对称固定该卡轴，该卡轴远离该底座一端固定连接该卡帽，该底座与该卡轴之间设有该卡槽，该卡槽呈U型开设于该卡轴上，该卡帽至该卡槽之间设有一倒角。

优选的，该卡帽至该卡槽之间的倒角为54°~55°。

优选的，该卡槽的宽度为0.3~0.4mm。

优选的，该卡帽为圆形，厚度为1.29~1.39mm。

优选的，该底座、卡轴以及卡帽为一体成型结构。

优选的，该底座和卡帽的中心轴处于同一基准线上。

本发明的有益效果是，本发明的石墨舟夹具，加厚卡帽可有效保护石墨舟夹具的磨损及意外触碰导致的损坏，增加石墨舟夹具使用寿命及减少产线返修率；同时倒角可降低因插不到位导致的碎片及不良，并方便清理石墨舟夹具内异物；卡槽宽度小于常规U型卡槽间距，硅片能与石墨舟片贴合的更加紧密，极大减小硅片与底座之间的空隙，从而减少气流绕镀到硅片背面，降低正膜边缘石墨舟夹具绕镀印，改善正膜膜色，提高正膜的片内颜色的均匀性，进一步满足市场对高标准外观膜色的要求，应用前景广阔。

附图说明

图1为本发明石墨舟夹具的一种实施例的立体图，为该实施例的主视图。

图2为图1实施例的主视图。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。