[发明专利]抽排间隙调整装置、光刻设备及抽排间隙调整方法有效
| 申请号： | 201910309629.7 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN111830788B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 丛国栋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抽排间隙调整装置、光刻设备及抽排间隙调整方法，所述抽排间隙调整装置包括运动框架、固定框架以及调整单元，运动框架相对于固定框架作往复运动，调整单元设置于运动框架与固定框架之间，以调整运动框架与固定框架之间的间隙的密封程度。本发明可将运动框架与固定框架之间的间隙进行动态密封，有利于将运动框架与固定框架之间的间隙调整到所需要的最小程度，甚至可以实现完全密封，从而极大地提升热量的抽排效率。 | ||
| 搜索关键词： | 间隙 调整 装置 光刻 设备 方法 | ||
【主权项】：
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