[发明专利]一种坩埚取放装置有效
| 申请号: | 201910287382.3 | 申请日: | 2019-04-11 |
| 公开(公告)号: | CN110098144B | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
| 发明(设计)人: | 万之君 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677;C23C14/24 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明提供了一种坩埚取放装置,其包括取放单元、转接单元和控制单元。其中所述取放单元包括磁盘本体和设置在所述磁盘本体上的把手,其中所述磁盘本体中设置有电磁铁。所述转接单元包括转接盖体以及卡扣件,其中所述转接盖体上设置有磁铁。所述控制单元包括电磁铁开关,用于控制所述电磁铁的打开和关闭。本发明提供了一种坩埚取放装置,其采用创新的磁力吸附方式来进行不同口径坩埚的取放,因其进行磁力吸附的对象为对应坩埚的盖体,而不是坩埚的喷嘴,从而避免了现有技术中因取放坩埚的喷嘴口径不同而导致需要更换对应取放装置的问题。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 坩埚 装置 | ||
【主权项】:
1.一种坩埚取放装置;其特征在于,包括取放单元、转接单元和控制单元;其中所述取放单元包括磁盘本体和设置在所述磁盘本体上的把手,其中所述磁盘本体中设置有电磁铁;其中所述转接单元包括转接盖体以及卡扣件,其中所述转接盖体上设置有磁铁;其中所述控制单元包括电磁铁开关,用于控制所述电磁铁的打开和关闭;使用时,其中所述转接单元的转接盖体设置在待取出的坩埚的盖体上并通过所述卡扣件使得两者配接,所述控制单元中的电磁铁开关打开使得所述磁盘本体的电磁铁工作,进而通过所述电磁铁与所述转接盖体上设置的磁铁之间的磁力吸合完成所述坩埚的取出。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





