[发明专利]一种坩埚取放装置有效

专利信息
申请号: 201910287382.3 申请日: 2019-04-11
公开(公告)号: CN110098144B 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 万之君 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/677;C23C14/24
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种坩埚取放装置,其包括取放单元、转接单元和控制单元。其中所述取放单元包括磁盘本体和设置在所述磁盘本体上的把手,其中所述磁盘本体中设置有电磁铁。所述转接单元包括转接盖体以及卡扣件,其中所述转接盖体上设置有磁铁。所述控制单元包括电磁铁开关,用于控制所述电磁铁的打开和关闭。本发明提供了一种坩埚取放装置,其采用创新的磁力吸附方式来进行不同口径坩埚的取放,因其进行磁力吸附的对象为对应坩埚的盖体,而不是坩埚的喷嘴,从而避免了现有技术中因取放坩埚的喷嘴口径不同而导致需要更换对应取放装置的问题。
搜索关键词: 一种 坩埚 装置
【主权项】:
1.一种坩埚取放装置;其特征在于,包括取放单元、转接单元和控制单元;其中所述取放单元包括磁盘本体和设置在所述磁盘本体上的把手,其中所述磁盘本体中设置有电磁铁;其中所述转接单元包括转接盖体以及卡扣件,其中所述转接盖体上设置有磁铁;其中所述控制单元包括电磁铁开关,用于控制所述电磁铁的打开和关闭;使用时,其中所述转接单元的转接盖体设置在待取出的坩埚的盖体上并通过所述卡扣件使得两者配接,所述控制单元中的电磁铁开关打开使得所述磁盘本体的电磁铁工作,进而通过所述电磁铁与所述转接盖体上设置的磁铁之间的磁力吸合完成所述坩埚的取出。
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