[发明专利]一种坩埚取放装置

权利要求书

1.一种坩埚取放装置；其特征在于，包括取放单元、转接单元和控制单元；

其中所述取放单元包括磁盘本体和设置在所述磁盘本体上的把手，其中所述磁盘本体中设置有电磁铁和高度传感器，当所述高度传感器监控的距离达到其内的设定值时，将触发其内部的一个中断，实现一个提示音或提示灯的开启；

其中所述转接单元包括转接盖体以及卡扣件，其中所述转接盖体上设置有磁铁；

其中所述控制单元包括电磁铁开关和高度传感器开关，分别用于控制所述电磁铁和所述传感器开关的打开和关闭；

当所述坩埚被取出时，其中所述转接单元的转接盖体设置在待取出的坩埚的盖体上并通过所述卡扣件使得两者配接，所述控制单元中的电磁铁开关打开使得所述磁盘本体的电磁铁工作，进而通过所述电磁铁与所述转接盖体上设置的磁铁之间的磁力吸合完成所述坩埚的取出；

当所述坩埚被放回时，其中所述转接盖体与电阻圈接触，且所述转接盖体表面与蒸发源保温层的表面齐平，所述高度传感器与所述蒸发源保温层表面高度的距离值符合设定值，所述高度传感器发出提示音或提示灯的开启，则关闭所述电磁铁开关，使得所述电磁铁和所述磁铁之间的磁力消失，所述磁盘本体脱离所述转接盖体，进而完成所述坩埚的放置。

2.根据权利要求1所述的坩埚取放装置；其特征在于，其中所述把手为凸起的圆柱状构型。

3.根据权利要求1所述的坩埚取放装置；其特征在于，其中所述电磁铁开关设置在所述把手上。

4.根据权利要求1所述的坩埚取放装置；其特征在于，其中所述电磁铁包括2个以上数量，这些电磁铁均匀的分布设置在所述磁盘本体中。

5.根据权利要求1所述的坩埚取放装置；其特征在于，其中所述高度传感器为利用红外监控距离的距离传感器。

6.根据权利要求1所述的坩埚取放装置；其特征在于，其中所述转接盖体设置有向下延伸出的内沿，所述内沿向内形成一用于与待取放坩埚盖体配接的第一收容槽。

7.根据权利要求6所述的坩埚取放装置；其特征在于，其中所述转接盖体上设置的所述磁铁是设置在所述第一收容槽内。

8.根据权利要求6所述的坩埚取放装置；其特征在于，其中所述转接盖体还设置有向下延伸出的外沿，所述外沿与内沿之间形成一第二收容槽。