[发明专利]超高纯铝溅射靶材自动定位设备在审
| 申请号： | 201910253197.2 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111748778A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;魏小林 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种超高纯铝溅射靶材自动定位设备，包括置物平台；所述置物平台上设有容纳区域，所述容纳区域由支撑座以及限位柱组成，所述支撑座位于所述容纳区域内部，所述支撑座用于支撑目标物；所述限位柱用于限制所述目标物的位置。所述容纳区域为能够被机械手准确识别并抓取的区域，并保障当所述靶材放置该区域后，机械手可以顺利将所述靶材抓取，进而解放人工，提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯 溅射 自动 定位 设备 | ||
【主权项】：
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