[发明专利]超高纯铝溅射靶材自动定位设备在审
| 申请号： | 201910253197.2 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111748778A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;魏小林 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高纯 溅射 自动 定位 设备 | ||
1.一种超高纯铝溅射靶材自动定位设备，包括：置物平台；
其特征在于，还包括：
限位柱，所述限位柱设置于所述置物平台上，限定出容纳区域；
支撑座，设置于所述容纳区域内部，用于支撑目标物。
2.如权利要求1所述超高纯铝溅射靶材自动定位设备，其特征在于，所述限位柱的数量至少为3个。
3.如权利要求2所述超高纯铝溅射靶材自动定位设备，其特征在于，所述限位柱的数量为3个。
4.如权利要求2所述超高纯铝溅射靶材自动定位设备，其特征在于，所述限位柱的数量为4个。
5.如权利要求1所述超高纯铝溅射靶材自动定位设备，其特征在于，所述限位柱包括主体和位于主体的顶端的端部，所述端部为圆锥状。
6.如权利要求1所述超高纯铝溅射靶材自动定位设备，其特征在于，所述支撑座的数量为单个或多个，所述支撑座的高度小于所述限位柱的高度。
7.如权利要求1所述超高纯铝溅射靶材自动定位设备，其特征在于，所述支撑座的材料为尼龙塑料。
8.如权利要求1所述超高纯铝溅射靶材自动定位设备，其特征在于，所述置物平台上还设有平面检测装置，所述平面检测装置设置在所述容纳区域之外。
9.如权利要求8所述的超高纯铝溅射靶材自动定位设备，其特征在于，所述平面检测装置包括至少一个激光传感器。
10.如权利要求9所述的超高纯铝溅射靶材自动定位设备，其特征在于，所述支撑座的高度满足：在将目标物放置在所述容纳区域后，所述目标物上表面的高度与所述激光传感器光轴高度之间的距离为0.1mm-0.5mm。
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