[发明专利]掩膜板周转装置在审
| 申请号： | 201910250965.9 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN109825801A | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 唐军 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 郑学伟;叶利军 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区碧岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板周转装置，用于装载并转运掩膜板，包括箱体及定位保持件，箱体具有收容腔及与所述收容腔相通的装载口，所述装载口适于所述掩膜板装入所述收容腔；定位保持件设在所述收容腔内，以将所述掩膜板竖向固定并保持在所述收容腔内。根据本发明实施例提供的掩膜板周转装置，可以将掩膜板通过定位保持件竖向固定并保持在收容腔内，由于掩膜板竖向布置，所以，在运输或转运过程，可以防止由于颠簸或其他压力导致掩膜基板的中心下沉，确保掩膜基板的精度不受影响，同时，掩膜板位于箱体内，利用箱体对掩膜板起到隔离保护作用，防止在转运过程中收到冲击或撞击造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 收容腔 定位保持件 周转装置 转运 竖向固定 掩膜基板 装载口 隔离保护作用 竖向布置 下沉 装入 颠簸 损伤 装载 相通 运输 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板周转装置，用于装载并转运掩膜板，其特征在于，包括：箱体，所述箱体具有收容腔及与所述收容腔相通的装载口，所述装载口适于所述掩膜板装入所述收容腔；定位保持件，所述定位保持件设在所述收容腔内，以将所述掩膜板竖向固定并保持在所述收容腔内。
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