[发明专利]掩膜板周转装置在审
| 申请号: | 201910250965.9 | 申请日: | 2019-03-29 |
| 公开(公告)号: | CN109825801A | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
| 发明(设计)人: | 唐军 | 申请(专利权)人: | 唐军 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司: | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人: | 郑学伟;叶利军 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市坪山区碧岭*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 掩膜板 收容腔 定位保持件 周转装置 转运 竖向固定 掩膜基板 装载口 隔离保护作用 竖向布置 下沉 装入 颠簸 损伤 装载 相通 运输 | ||
1.一种掩膜板周转装置,用于装载并转运掩膜板,其特征在于,包括:
箱体,所述箱体具有收容腔及与所述收容腔相通的装载口,所述装载口适于所述掩膜板装入所述收容腔;
定位保持件,所述定位保持件设在所述收容腔内,以将所述掩膜板竖向固定并保持在所述收容腔内。
2.根据权利要求1所述的掩膜板周转装置,其特征在于,所述定位保持件为多个,多个所述定位保持件沿所述收容腔的宽度方向依次间隔设置。
3.根据权利要求1所述的掩膜板周转装置,其特征在于,每个所述定位保持件包括:
第一轨道部,所述第一轨道部设在所述收容腔的顶壁,所述第一轨道部具有沿所述收容腔的长度方向延伸的第一卡槽;
第二轨道部,所述第二轨道部设在所述收容腔的底壁且与所述第一轨道部相对,所述第二轨道部具有沿所述收容腔的长度方向延伸的第二卡槽;
所述第一卡槽适于卡固所述掩膜板的上边沿,所述第二卡槽适于卡固所述掩膜板的下边沿。
4.根据权利要求3所述的掩膜板周转装置,其特征在于,还包括:
导向件,所述导向件设在所述收容腔,以引导所述掩膜板进入至所述定位保持件。
5.根据权利要求4所述的掩膜板周转装置,其特征在于,所述导向件包括:
第一滚轮,所述第一滚轮设在所述第一卡槽内且沿一水平轴线可枢转;
第二滚轮,所述第二滚轮设在所述第二卡槽内且沿一水平轴线可枢转。
6.根据权利要求5所述的掩膜板周转装置,其特征在于,所述导向件包括所述第一滚轮及第二滚轮均为多个,多个所述第一滚轮沿所述第一卡槽的延伸方向间隔设置,多个所述第二滚轮沿所述第二卡槽的延伸方向间隔设置。
7.根据权利要求5所述的掩膜板周转装置,其特征在于,所述箱体包括箱体外层、箱体内层及位于所述箱体外层和箱体内层之间的箱体中间层,所述箱体外层为金属材料,所述箱体内层为塑胶材料或金属材料,所述箱体中间层为减震缓冲材料。
8.根据权利要求7所述的掩膜板周转装置,其特征在于,所述金属材料为不锈钢、铁、铝、锌中的任意一种,所述塑胶材料为PP材料、PE材料、PPC材料及亚克力材料中的任意一种,所述减震缓冲材料为EV泡棉或海绵。
9.根据权利要求1所述的掩膜板周转装置,其特征在于,还包括门体,所述门体与所述箱体可枢转连接,以打开或关闭所述装载口。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的掩膜板周转装置,其特征在于,所述箱体的底部设有脚轮。
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