[发明专利]掩膜板周转装置

说明书

本发明公开了一种掩膜板周转装置，用于装载并转运掩膜板，包括箱体及定位保持件，箱体具有收容腔及与所述收容腔相通的装载口，所述装载口适于所述掩膜板装入所述收容腔；定位保持件设在所述收容腔内，以将所述掩膜板竖向固定并保持在所述收容腔内。根据本发明实施例提供的掩膜板周转装置，可以将掩膜板通过定位保持件竖向固定并保持在收容腔内，由于掩膜板竖向布置，所以，在运输或转运过程，可以防止由于颠簸或其他压力导致掩膜基板的中心下沉，确保掩膜基板的精度不受影响，同时，掩膜板位于箱体内，利用箱体对掩膜板起到隔离保护作用，防止在转运过程中收到冲击或撞击造成损伤。

技术领域

本发明涉及掩膜板技术领域，尤其涉及一种掩膜板周转装置。

背景技术

在有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)制造技术中，蒸镀制程用的掩膜板是至关重要的部件，该掩膜板用于控制有机材料沉积在玻璃基板上的位置，从而在玻璃基板上形成不同形状的有机图案。

掩膜板一般包括掩膜板框及设在掩膜板框上的掩膜基板，在蒸镀制程中，需要定期清洗掩膜板，每次清洗掩膜板都会对掩膜板造成一定的损伤，影响掩膜板的精度，而掩膜板清洗一定次数(例如20次)之后可能就需要报废了，由此可见，掩膜板是蒸镀制程中的一种重要的耗材。

由于掩膜板需要采用特殊的合金(Invar36合金)材料制造，并且，掩膜基板还需要将其加工至微米级的厚度，业内的一个标准是要低于30微米，此外，还需要在这种微米级的掩膜基板上加工形成蒸镀孔，而根据显示设备的分辨率要求，蒸镀孔的尺寸精度要求非常高，导致加工难度极高，由此，掩膜板作为一种耗材，其价格非常的昂贵，堪比白银的价格，一片掩膜板的价格一般高达数十万至上百万。

然而，在掩膜板在运输过程中，由于路途中颠簸、掩膜基板厚度极薄、掩膜板的总体重量大(由于掩膜板框是铸造成型的厚重结构)等各种因素，造成了掩膜板在运输途中容易损伤，进而造成重大的损失。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的目的在于提出一种掩膜板周转装置。

为实现上述目的，根据本发明实施例的掩膜板周转装置，用于装载并转运掩膜板，包括：

箱体，所述箱体具有收容腔及与所述收容腔相通的装载口，所述装载口适于所述掩膜板装入所述收容腔；

定位保持件，所述定位保持件设在所述收容腔内，以将所述掩膜板竖向固定并保持在所述收容腔内。

根据本发明实施例提供的掩膜板周转装置，可以将掩膜板通过定位保持件竖向固定并保持在收容腔内，由于掩膜板竖向布置，所以，在运输或转运过程，可以防止由于颠簸或其他压力导致掩膜基板的中心下沉，确保掩膜基板的精度不受影响，同时，掩膜板位于箱体内，利用箱体对掩膜板起到隔离保护作用，防止在转运过程中收到冲击或撞击造成损伤。

另外，根据本发明上述实施例的掩膜板周转装置还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，所述定位保持件为多个，多个所述定位保持件沿所述收容腔的宽度方向依次间隔设置。

根据本发明的一个实施例，每个所述定位保持件包括：

第一轨道部，所述第一轨道部设在所述收容腔的顶壁，所述第一轨道部具有沿所述收容腔的长度方向延伸的第一卡槽；

第二轨道部，所述第二轨道部设在所述收容腔的底壁且与所述第一轨道部相对，所述第二轨道部具有沿所述收容腔的长度方向延伸的第二卡槽；

所述第一卡槽适于卡固所述掩膜板的上边沿，所述第二卡槽适于卡固所述掩膜板的下边沿。

根据本发明的一个实施例，还包括：