[发明专利]原子探针分析方法、装置及记录媒体有效
| 申请号： | 201910236350.0 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN111751576B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 洪世玮 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01Q30/04 | 分类号： | G01Q30/04;G01N27/626;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;姚开丽 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本揭露提供一种原子探针分析方法、装置及记录媒体。所述方法包括下列步骤：利用脉冲激光器照射包括测试样品的原子探针；利用质谱仪分析由原子探针表面射出的离子以获得质谱图，其中所述离子包括一元素的多种量体且具有多种价数；以及对各量体的不同价数的离子在质谱图中对应的质荷比的计数值进行归一化，以获得各量体的离子所占的比例，并用以修正各量体的离子的定量结果。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 探针 分析 方法 装置 记录 媒体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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