[发明专利]原子探针分析方法、装置及记录媒体

说明书

本揭露提供一种原子探针分析方法、装置及记录媒体。所述方法包括下列步骤：利用脉冲激光器照射包括测试样品的原子探针；利用质谱仪分析由原子探针表面射出的离子以获得质谱图，其中所述离子包括一元素的多种量体且具有多种价数；以及对各量体的不同价数的离子在质谱图中对应的质荷比的计数值进行归一化，以获得各量体的离子所占的比例，并用以修正各量体的离子的定量结果。

技术领域

本揭露的实施例是有关于一种原子探针分析方法、装置及记录媒体。

背景技术

在半导体制程中，需要针对半导体组件的表面微污染、掺杂与离子植入等，进行特定元素(例如磷、砷、硼等)浓度的定量分析，从而控制或调整制程参数，藉此维持组件/外延的稳定性。例如，在磷化硅的外延(epitaxy)过程中，即需要对磷进行定量分析(quantification)。

现今的定量分析技术其中之一是采用原子探针分析技术(Atom ProbeTomography)，但此技术在对某些元素进行定量分析时，分析所得的质谱图中的主要信号来源是由同一元素的多种量体的信号重迭而成，结果将使得定量分析结果与实际量值有所偏差。

发明内容

本揭露的实施例提供一种原子探针分析方法，适用于具有处理器的电子装置。所述方法包括下列步骤：利用脉冲激光器照射包括测试样品的原子探针；利用质谱仪分析由原子探针表面射出的离子以获得质谱图，其中所述离子包括一元素的多种量体且具有多种价数；以及对各量体的不同价数的离子在质谱图中对应的质荷比(mass-to-charge-stateratio)的计数值进行归一化，以获得各量体的离子所占的比例，并用以修正各量体的离子的定量结果。

本揭露的实施例提供一种原子探针分析装置，其包括连接装置及处理器。其中，连接装置用以连接脉冲激光器与质谱仪。处理器耦接连接装置，且经配置以利用脉冲激光器照射包括测试样品的原子探针，利用质谱仪分析由原子探针表面射出的离子以获得质谱图，其中所述离子包括一元素的多种量体且具有多种价数，然后对各个量体的不同价数的离子在质谱图中对应的质荷比的计数值进行归一化，以获得各个量体的离子所占的比例，并用以修正各个量体的离子的定量结果。

本揭露的实施例提供一种计算机可读取记录媒体，用以记录程序，所述程序经处理器加载以执行：利用脉冲激光器照射包括测试样品的原子探针；利用质谱仪分析由原子探针表面射出的离子以获得质谱图，其中所述离子包括一元素的多种量体且具有多种价数；以及对各量体的不同价数的离子在质谱图中对应的质荷比的计数值进行归一化，以获得各量体的离子所占的比例，并用以修正各量体的离子的定量结果。

附图说明

当结合附图阅读时，从以下详细描述最好地理解本揭露内容的各方面。应注意，根据行业中的标准惯例，各种特征未按比例绘制。实际上，为了论述清楚起见，可任意增大或减小各种特征的尺寸。

图1是根据本揭露实施例所绘示的原子探针分析装置的方块图。

图2是根据本揭露实施例所绘示的原子探针分析方法的流程图。

图3是根据本揭露实施例所绘示的磷离子的质谱图。

图4是根据本揭露实施例所绘示的原子探针分析方法的流程图。

图5是根据本揭露实施例所绘示的定量分析结果的比较图。

附图标号说明：

100：原子探针分析装置；

102：连接装置；

104：存储媒体；

106：处理器；

112：脉冲激光器；

114：质谱仪；

300：质谱图；

310：峰值；