[发明专利]原子探针分析方法、装置及记录媒体

权利要求书

1.一种原子探针分析方法，适用于具有处理器的电子装置，其特征在于，所述方法包括：

利用脉冲激光器照射包括测试样品的原子探针；

利用质谱仪分析由所述原子探针表面射出的离子以获得质谱图，其中所述离子包括一元素的多种量体且具有多种价数；以及

对各所述量体的不同价数的所述离子在所述质谱图中对应的质荷比的计数值进行归一化，以获得各所述量体的所述离子所占的比例，并用以修正各所述量体的所述离子的定量结果，

其中，对各所述量体的不同价数的所述离子在所述质谱图中对应的质荷比的计数值进行归一化，以获得各所述量体的所述离子所占的比例，并用以修正各所述量体的所述离子的定量结果的步骤包括：

利用各所述量体的不同价数的所述离子在所述质谱图中所对应的未与其他量体的所述离子重叠的质荷比的计数值，计算各所述量体的所述离子所占的比例；以及

将所述质谱图中对应于重叠的所述量体的所述离子的质荷比的计数值乘上各所述量体的所述比例及对应的原子数，以获得对应于所述质荷比的各所述量体的所述价数的所述离子的计数值，作为各所述量体的所述离子的定量结果。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

反馈修正后的各所述量体的所述离子的所述定量结果于所述脉冲激光器的电源供应以调整充电状态比，使得各所述量体的不同价数的所述离子的比例维持固定。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

利用机器学习算法建立学习模型，以学习所述测试样品分析时的初始条件与分析所得的各所述量体的所述离子的所述定量结果之间的关系；以及

利用所述学习模型识别执行期间的所述测试样品的各所述量体在所述质谱图中的指纹，并据以修正各所述量体的定量结果。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述元素包括半导体制程中所使用的掺杂元素，所述掺杂元素包括磷、砷、硼、钛、铝。

5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述初始条件包括所述脉冲激光器的脉冲激光器能量、充电状态比、施加于所述原子探针的电压、所述原子探针的温度、检测率或频率。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述量体包括单量体、双量体及三量体。

7.一种原子探针分析装置，其特征在于，包括：

连接装置，连接脉冲激光器与质谱仪；

处理器，耦接所述连接装置，经配置以：

利用所述脉冲激光器照射包括测试样品的原子探针；

利用所述质谱仪分析由所述原子探针表面射出的离子以获得质谱图，其中所述离子包括一元素的多种量体且具有多种价数；以及

对各所述量体的不同价数的所述离子在所述质谱图中对应的质荷比的计数值进行归一化，以获得各所述量体的所述离子所占的比例，并用以修正各所述量体的所述离子的定量结果，

其中，所述处理器包括利用各所述量体的不同价数的所述离子在所述质谱图中所对应的未与其他量体的所述离子重叠的质荷比的计数值，计算各所述量体的所述离子所占的比例，以及将所述质谱图中对应于重叠的所述量体的所述离子的质荷比的计数值乘上各所述量体的所述比例及对应的原子数，以获得对应于所述质荷比的各所述量体的所述价数的所述离子的计数值，作为各所述量体的所述离子的定量结果。

8.如权利要求7所述的原子探针分析装置，其特征在于，所述处理器还包括反馈修正后的各所述量体的所述离子的所述定量结果于所述脉冲激光器的电源供应以调整充电状态比，使得各所述量体的不同价数的所述离子的比例维持固定。

9.如权利要求7所述的原子探针分析装置，其特征在于，所述处理器还包括利用机器学习算法建立学习模型，以学习所述测试样品分析时的初始条件与分析所得的各所述量体的所述离子的所述定量结果之间的关系，以及利用所述学习模型识别执行期间的所述测试样品的各所述量体在所述质谱图中的指纹，并据以修正各所述量体的定量结果。