[发明专利]一种设有辅助对光装置的激光干涉仪及光路准直方法在审
| 申请号： | 201910216938.X | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN109870104A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 吴剑武 | 申请（专利权）人： | 温州市工业科学研究院 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 温州金瓯专利事务所(普通合伙) 33237 | 代理人： | 徐胜仙 |
| 地址： | 325000 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种设有辅助对光装置的激光干涉仪及光路准直方法。解决了现有激光干涉准直麻烦，费时费力的问题。它包括主机、输入光束、分光镜、第一反射镜和第二反射镜，还包括辅助对光装置，所述的辅助对光装置分别与分光镜、第二反射镜相连接且第二反射镜能被快速固定，使得测量光束在测量运动路径上均能正确返回被探测器接收，其方法采用：通过辅助对光装置的运动配合，使得在运动测量时第二反射镜中心始终处于分光镜产生的测量光束方向上，保证了经第二反射镜返回的测量光束被探测器接收。本发明具有结构简单，光路准直一次完成，方便可靠，省时省力，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 对光装置 反射镜 测量光束 光路准直 分光镜 激光干涉仪 探测器 反射镜中心 测量运动 激光干涉 快速固定 输入光束 一次完成 运动测量 运动配合 返回 省时 准直 省力 主机 费力 保证 | ||
【主权项】：
1.一种设有辅助对光装置的激光干涉仪，其特征在于:包括主机（1）、分光镜（2）、第一反射镜（3）、第二反射镜（4）和辅助对光装置（7），所述的主机（1）内设有光源（11）和探测器（12），所述的第一反射镜（3）设于分光镜（2）上，所述的分光镜（2）通过辅助对光装置（7）设于第一安装座（5）上，所述的第二反射镜（4）通过辅助对光装置（7）设于第二安装座（6）上，所述的光源（11）发射出的输入光束（111）经分光镜后分成参考光束（112）和测量光束（113），所述的参考光束（112）经第一反射镜（3）、分光镜（2）后被探测器（12）接收，所述的测量光束（113）经第二反射镜（4）、分光镜（2）后被探测器（12）接收，所述的辅助对光装置（7）分别与分光镜（2）、第二反射镜（4）相连接且第二反射镜(4)能被快速固定使得测量光束(113)在测量运动路径上均能正确返回被探测器(12)接收。
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