[发明专利]一种设有辅助对光装置的激光干涉仪及光路准直方法

说明书

一种设有辅助对光装置的激光干涉仪及光路准直方法。解决了现有激光干涉准直麻烦，费时费力的问题。它包括主机、输入光束、分光镜、第一反射镜和第二反射镜，还包括辅助对光装置，所述的辅助对光装置分别与分光镜、第二反射镜相连接且第二反射镜能被快速固定，使得测量光束在测量运动路径上均能正确返回被探测器接收，其方法采用：通过辅助对光装置的运动配合，使得在运动测量时第二反射镜中心始终处于分光镜产生的测量光束方向上，保证了经第二反射镜返回的测量光束被探测器接收。本发明具有结构简单，光路准直一次完成，方便可靠，省时省力，效率高。

技术领域

本发明涉及一种激光干涉仪，具体涉及一种设有辅助对光装置的激光干涉仪及光路准直方法。

背景技术

激光干涉仪以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量仪器。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性、角度、直线度、真直度、垂直度和平面度等测量工作，并可为精密工具或测量仪器作校正工作。

精密的机床经过一段时间后需要对其定位精度进行测量、校准，通常是需要进行机床运动工作台的X向、Y向和主轴Z向的线性定位精度的测量，以保证机床的加工精度。在测量时系统对干涉仪、分光镜和反射镜三者相对位置度要求较高，由于镜组是自由放置，使得现有的手段是根据反射光点凭经验反复调整干涉仪、分光镜和反射镜的相对位置，即使通过调整反射镜处在某一点的位置时测量光束在测量仪上被检测到，但当待测机床运动工作台的X向、Y向或者主轴Z向移动一定位置后，测量光束仍然可能没有落在探测器上，即细微的角度偏差都会导致光线反射路径偏离，因此安装后干涉仪光源发出的光线很难保证在整段测试路径上光线都能返回在一个被探测器检测到的位置，导致对光失败，需要从头开始调整。通常熟练的工作人员测量操作时都需要花费半个小时乃至一个多小时的时间才能完成一个方向的光路准直,费时费力，检测效率低。

发明内容

为解决背景技术中现有激光干涉准直麻烦，费时费力的问题，本发明提供一种设有辅助对光装置的激光干涉仪及光路准直方法。

本发明的技术方案是：一种设有辅助对光装置的激光干涉仪，包括主机、分光镜、第一反射镜、第二反射镜和辅助对光装置，所述的主机内设有光源和探测器，所述的第一反射镜设于分光镜上，所述的分光镜通过辅助对光装置设于第一安装座上，所述的第二反射镜通过辅助对光装置设于第二安装座上，所述的光源发射出的输入光束经分光镜后分成参考光束和测量光束，所述的参考光束经第一反射镜、分光镜后被探测器接收，所述的测量光束经第二反射镜、分光镜后被探测器接收，所述的辅助对光装置分别与分光镜、第二反射镜相连接且第二反射镜能被快速固定使得测量光束在测量运动路径上均能正确返回被探测器接收。

作为本发明的一种改进，所述的辅助对光装置包括导杆座、导向杆和摆动机构，所述的导向杆设于导杆座上，所述的导杆座设于分光镜上，所述的分光镜通过摆动机构设于第一安装座上并与第一安装座摆动连接，所述的第二反射镜沿导向杆的轴向与分光镜滑移配合。

作为本发明的进一步改进，所述的导杆座上设有用于导向杆插入的导向孔，所述导向孔的轴线与导杆座各基准面保持平行或垂直。

作为本发明的进一步改进，所述的导向杆和导杆座可拆卸连接，所述的导杆座上设有用于导向杆固定的紧定螺钉旋钮。

作为本发明的进一步改进，所述导向杆的轴线与经分光镜后产生的测量光束相平行。

作为本发明的进一步改进，所述的摆动机构包括摆动座和连接块，所述的分光镜设于连接块上，所述的摆动座和连接块之间设有连接杆，所述的第一安装座上设有缺口槽，所述的摆动座设于第一安装座上并可相对第一安装座转动。

作为本发明的进一步改进，所述的摆动座及设于摆动座上的连接杆均可相对第一安装座转动，还包括用于固定连接杆摆动角度的固定螺钉旋钮。