[发明专利]一种设有辅助对光装置的激光干涉仪及光路准直方法

权利要求书

1.一种设有辅助对光装置的激光干涉仪，其特征在于:包括主机（1）、分光镜（2）、第一反射镜（3）、第二反射镜（4）和辅助对光装置（7），所述的主机（1）内设有光源（11）和探测器（12），所述的第一反射镜（3）设于分光镜（2）上，所述的分光镜（2）通过辅助对光装置（7）设于第一安装座（5）上，所述的第二反射镜（4）通过辅助对光装置（7）设于第二安装座（6）上，所述的光源（11）发射出的输入光束（111）经分光镜后分成参考光束（112）和测量光束（113），所述的参考光束（112）经第一反射镜（3）、分光镜（2）后被探测器（12）接收，所述的测量光束（113）经第二反射镜（4）、分光镜（2）后被探测器（12）接收，所述的辅助对光装置（7）分别与分光镜（2）、第二反射镜（4）相连接且第二反射镜(4)能被快速固定使得测量光束(113)在测量运动路径上均能正确返回被探测器(12)接收。

2.根据权利要求1所述的一种设有辅助对光装置的激光干涉仪，其特征在于所述的辅助对光装置（7）包括导杆座（71）、导向杆（72）和摆动机构（8），所述的导向杆（72）设于导杆座（71）上，所述的导杆座（71）设于分光镜（2）上，所述的分光镜（2）通过摆动机构（8）设于第一安装座（5）上并与第一安装座（5）摆动连接，所述的第二反射镜（4）沿导向杆（72）的轴向与分光镜（2）滑移配合。

3.根据权利要求2所述的一种设有辅助对光装置的激光干涉仪，其特征在于所述的导杆座（71）上设有用于导向杆（72）插入的导向孔，所述导向孔的轴线与导杆座（71）各基准面保持平行或垂直。

4.根据权利要求2所述的一种设有辅助对光装置的激光干涉仪，其特征在于所述导向杆（72）的轴线与经分光镜（2）后产生的测量光束（113）相平行。

5.根据权利要求2所述的一种设有辅助对光装置的激光干涉仪，其特征在于所述的摆动机构（8）包括摆动座（81）和连接块（82），所述的分光镜（2）设于连接块（82）上，所述的摆动座（81）和连接块（82）之间设有连接杆（83），所述的第一安装座（5）上设有缺口槽（51），所述的摆动座（81）设于第一安装座（5）上并可相对第一安装座（5）转动。

6.根据权利要求5所述的一种设有辅助对光装置的激光干涉仪，其特征在于所述的摆动座（81）及设于摆动座（81）上的连接杆（83）均可相对第一安装座（5）转动，还包括用于固定连接杆（83）摆动角度的固定螺钉旋钮（84）。

7.根据权利要求2所述的一种设有辅助对光装置的激光干涉仪，其特征在于所述的第二安装座（6）上设有导向座（61），所述的第二反射镜（4）设于导向座（61）上，所述的导向座（61）上设有支撑板（62），所述的导向杆（72）设于支撑板（62）上。

8.根据权利要求4所述的一种设有辅助对光装置的激光干涉仪，其特征在于所述的支撑板（62）设于导向座（61）的外侧，所述的支撑板（62）上设有U型槽（621），所述的导向杆（72）设于U型槽（621）内并被支撑板（62）支撑。

9.根据权利要求1所述的一种设有辅助对光装置的激光干涉仪，其特征在于所述的第一反射镜（3）与分光镜（2）可拆卸连接，所述的第一反射镜（3）和第二反射镜（4）均为角棱反射镜。

10.一种激光干涉仪的光路准直方法，其特征在于：包括主机、分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第一安装座、第二安装座、摆动座、导杆座、导向杆和导向座，所述的主机内设有光源和探测器，采用如下步骤：A根据光路方向将第一反射镜、导杆座和连接块固定于分光镜相应的安装面上；B将摆动座安装在第一安装座上，将第一安装座固定于机床主轴上；C将分光镜、第一反射镜、导杆座和连接块组合通过连接杆与摆动座连接固定，并将导向杆插入导杆座的导向孔中固定,松开摆动座上的固定螺钉旋钮；D调整第一安装座，使得导向杆处于水平位置,导向杆轴线与机床运动方向保持一致；E将导向座固定于第二反射镜相应的安装面上，并安装在第二安装座上；F将第二反射镜中心高度调整为与分光镜中心高度一致；G将第二安装座对应的设置于待测的机床运动工作台上，并尽量靠近第一安装座；H通过调整安装位置，使分光镜、第二反射镜处于同一平面上，导向杆处于导向座支撑板的U型槽中，导向座支撑板与导向杆轴线垂直；I按测量方向移动机床工作台，使得第二反射镜相对导向杆滑移至导向杆末端；J拧紧摆动座上的固定螺钉旋钮，固定回转角度；K在适当位置架设主机，调整主机高度及偏摆俯仰角度，使得光源发出的输入光束经分光镜后产生参考光束和测量光束经第一反射镜、第二反射镜后能被探测器接收；L松开导杆座上的紧定螺钉旋钮，取下导向杆，光路准直完成。