[发明专利]曝光装置、曝光方法和物品制造方法有效
| 申请号： | 201910205550.X | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN110286562B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 大阪升 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及曝光装置、曝光方法和物品制造方法。提供一种对基板执行扫描曝光的曝光装置。该装置包括：光源；包括能够控制从光源发出的光的方向的多个镜子并且被配置为进行操作以根据基板的扫描调整基板上的积分曝光量的数字镜器件；被配置为将来自数字镜器件的光引导到基板并将图案投影到基板上的投影光学系统；以及被配置为基于要投影到基板上的图案控制数字镜器件中的所述多个镜子的控制器，其中，控制器控制所述多个镜子，使得图案的边缘部分中的积分曝光量变得大于除边缘部分以外的部分中的积分曝光量。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 方法 物品 制造 | ||
【主权项】：
1.一种对基板执行扫描曝光的曝光装置，其特征在于，包括：光源；数字镜器件，包括能够控制从光源发出的光的方向的多个镜子，并且被配置为进行操作以根据基板的扫描调整基板上的积分曝光量；投影光学系统，被配置为将来自数字镜器件的光引导到基板并将图案投影到基板上；以及控制器，被配置为基于要投影到基板上的图案控制数字镜器件中的所述多个镜子，其中，控制器控制所述多个镜子，使得图案的边缘部分中的积分曝光量变得大于除边缘部分以外的部分中的积分曝光量。
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