[发明专利]曝光装置、曝光方法和物品制造方法

权利要求书

1.一种对基板执行扫描曝光的曝光装置，其特征在于，包括：

数字镜器件，包括能够控制从光源发出的光的方向的多个镜子，并且被配置为进行操作以根据基板的扫描调整基板上的积分曝光量；

投影光学系统，被配置为将来自数字镜器件的光引导到基板并将图案投影到基板上；以及

控制器，被配置为基于要投影到基板上的图案控制数字镜器件中的所述多个镜子，

其中，控制器被配置为控制所述多个镜子，使得通过使所述图案的边缘部分中的积分曝光量大于除边缘部分以外的部分中的积分曝光量来强调边缘部分，并且

其中，控制器被配置为预先获得在扫描方向上延伸的边缘部分和在所述图案的非扫描方向上延伸的边缘部分中的各个斑点的坐标。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，数字镜器件进行操作以通过控制所述多个镜子中的每个镜子的开/关来调整基板上的积分曝光量。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，曝光装置被配置为形成在非扫描方向上布置的多个位置上形成的图案，使得：在所述多个位置处，通过扫描基板使由所述多个镜子中的沿扫描方向排列成行的各个开状态镜子反射的光所形成的斑点重叠，并且

积分曝光量被计算为由沿扫描方向排列成行的各个开状态镜子反射的光的量的总和值。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，控制器被配置为：

在基板的扫描期间，控制所述多个镜子的开/关，使得预先获得的所述坐标处的斑点中的积分曝光量变得大于其它斑点中的积分曝光量。

5.根据权利要求3所述的装置，其中

所述多个镜子在行方向和列方向上排列，并且

行方向和列方向相对于扫描方向倾斜。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，控制器被配置为预先测量由所述多个镜子中的每个镜子反射并被引导到基板的光的积分曝光量，并基于所述测量的结果控制所述多个镜子的开/关。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，控制器被配置为控制所述多个镜子，使得边缘部分相对于除边缘部分以外的部分是非均匀的。

8.根据权利要求1所述的装置，其中，控制器被配置为将所述图案分类成边缘部分和非边缘部分，生成镜子选择表，并且在扫描基板的同时根据生成的镜子选择表控制所述多个镜子，在所述镜子选择表中，定义所述多个镜子中的每个镜子的开/关，使得通过使边缘部分中的积分曝光量大于非边缘部分中的积分曝光量来强调边缘部分。

9.一种对基板执行扫描曝光的曝光装置中的曝光方法，其特征在于，

该曝光装置包括：包括能够控制从光源发出的光的方向的多个镜子、并且被配置为进行操作以根据基板的扫描调整基板上的积分曝光量的数字镜器件；被配置为将来自数字镜器件的光引导到基板并将图案投影到基板上的投影光学系统；以及被配置为基于要投影到基板上的图案控制数字镜器件中的所述多个镜子的控制器，

所述方法包括：

预先测量由数字镜器件中的所述多个镜子中的每个镜子反射并且被引导到基板的光的积分曝光量；

基于所述测量的结果来确定数字镜器件中的所述多个镜子中的每个镜子的开/关，使得所述图案中的积分曝光量变得均匀；

预先获得在扫描方向上延伸的边缘部分和在所述图案的非扫描方向上延伸的边缘部分中的各个斑点的坐标；

基于根据所述确定的结果执行的测试曝光的结果，校正所述确定的结果，使得通过使所述图案的边缘部分中的积分曝光量大于除边缘部分以外的部分中的积分曝光量来强调边缘部分；以及

根据经校正的结果对基板进行曝光。

10.根据权利要求9所述的方法，其中

所述确定包括：生成描述表示所述多个镜子中的每个镜子的开/关的数据的表作为确定的结果，并将该表存储在存储单元中，并且

所述校正包括重写存储在存储单元中的表中的数据。

11.一种物品制造方法，其特征在于，包括：

使用根据权利要求1至6中任一项所述的曝光装置对基板进行曝光；以及

对在所述曝光中经曝光的基板进行显影，

其中，从经显影的基板制造物品。