[发明专利]高密封性能真空镀膜机及其控制方法在审
| 申请号： | 201910201442.5 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN109722640A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 潘燕萍;朱海军 | 申请（专利权）人： | 常州市乐萌压力容器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/52 |
| 代理公司： | 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙) 32294 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及高密封性能真空镀膜机及其控制方法。该镀膜机具有机架、镀膜室、设备舱，机架包括镀膜机机架和使镀膜室封闭的镀膜机舱门，镀膜机机架上设置有填充有密封胶条的凹槽；镀膜室中心设置有轴承，侧壁设置有加热电阻，沿轴承竖直方向设置有托盘，镀膜室内还设置有喷枪；设备舱设置有真空系统和控制柜，真空系统通过管道连接镀膜室，管道同时连接有扩散泵和机械泵，管道和扩散泵间设置有高真空蝶阀，管道和机械泵间设置有低真空蝶阀，扩散泵和低真空蝶阀间设置有储气桶；该控制方法包括关闭舱门、抽低真空、抽高真空、镀膜室升温、转动轴承、镀膜机取出工件。该镀膜机密封效果好，返流率低，降低体系镀膜所需温度，延长镀膜机使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜机 镀膜室 镀膜 扩散泵 高密封性能 真空镀膜机 真空系统 低真空 机械泵 设备舱 蝶阀 轴承 高真空蝶阀 密封效果好 托盘 抽低真空 抽高真空 方向设置 管道连接 密封胶条 使用寿命 中心设置 转动轴承 储气桶 机舱门 控制柜 热电阻 有机架 舱门 侧壁 返流 机具 喷枪 竖直 填充 取出 室内 封闭 | ||
【主权项】：
1.高密封性能真空镀膜机，具有机架(1)、镀膜室(2)、设备舱(3)，其特征在于：所述机架(1)包括镀膜机机架(101)和使镀膜室封闭的镀膜机舱门(102)，所述镀膜机机架(101)与镀膜机舱门(102)活动连接，所述镀膜机机架(101)与镀膜机舱门(102)闭合接触面上设置有相应的凹槽(104)，所述凹槽(104)中设置有密封胶条(105)；所述镀膜室(2)中心设置有轴承(203)，所述轴承(203)上端连接有驱动轴承转动的变速箱(4)，镀膜室(2)侧壁设置有加热电阻(201)，所述加热电阻(201)外侧设置有隔热绝缘层(202)；所述镀膜室(2)内沿轴承(203)竖直方向设置有若干托盘(204)，所述托盘(204)上设置有若干固定待镀膜工件的支撑杆(205)，所述镀膜室(2)内还设置有若干喷枪(206)，所述镀膜室(2)侧壁设置有与设备舱(3)连通的通孔(208)；所述设备舱(3)设置有真空系统和控制柜(6)，所述真空系统通过穿过通孔(208)的管道(303)连接镀膜室(2)，所述管道(303)同时连接有扩散泵(302)和机械泵(306)，所述管道(303)和扩散泵(302)间设置有高真空蝶阀(301)，所述管道(303)和机械泵(306)间设置有低真空蝶阀(305)。
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