[发明专利]高密封性能真空镀膜机及其控制方法

说明书

本发明涉及高密封性能真空镀膜机及其控制方法。该镀膜机具有机架、镀膜室、设备舱，机架包括镀膜机机架和使镀膜室封闭的镀膜机舱门，镀膜机机架上设置有填充有密封胶条的凹槽；镀膜室中心设置有轴承，侧壁设置有加热电阻，沿轴承竖直方向设置有托盘，镀膜室内还设置有喷枪；设备舱设置有真空系统和控制柜，真空系统通过管道连接镀膜室，管道同时连接有扩散泵和机械泵，管道和扩散泵间设置有高真空蝶阀，管道和机械泵间设置有低真空蝶阀，扩散泵和低真空蝶阀间设置有储气桶；该控制方法包括关闭舱门、抽低真空、抽高真空、镀膜室升温、转动轴承、镀膜机取出工件。该镀膜机密封效果好，返流率低，降低体系镀膜所需温度，延长镀膜机使用寿命。

技术领域

本发明属于真空镀膜机领域，具体涉及高密封性能真空镀膜机及其控制方法。

背景技术

真空镀膜是在高真空环境下加热金属或金属材料，其氧化物变成气态原子或分子，沉积在金属或非金属表面而形成薄膜的一种方法，具有低能耗、无毒、无废液、污染小等优点。真空镀膜机主要由镀膜室、真空系统、电气控制及机架等部分组成，其中真空系统是用来真空抽气从而获得真空的重要部件，而现有的真空镀膜机存在密封性能不好、真空系统返流率较高，镀膜时所需的热能高，高温环境对镀膜机的零部件损害严重，使用周期短，且浪费能源；现有技术中一般采用多台真空泵进行抽真空操作，这就要求镀膜机增大设备舱的容纳面积，增加经济成本。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：针对上述缺陷，本发明提供一种高密封性能真空镀膜机，密封效果好，返流率低，降低体系镀膜所需温度，延长镀膜机使用寿命。

本发明解决其技术问题采用的技术方案如下：高密封性能真空镀膜机，具有机架、镀膜室、设备舱，所述机架包括镀膜机机架和使镀膜室封闭的镀膜机舱门，所述镀膜机机架与镀膜机舱门活动连接，所述镀膜机机架与镀膜机舱门闭合接触面上设置有相应的凹槽，所述凹槽中设置有密封胶条；镀膜机机架与镀膜机舱门连接处设置有密封胶条，可以避免连接处发生漏气等问题，提高真空镀膜机整机的密封性。

所述镀膜室中心设置有轴承，所述轴承上端连接有驱动轴承转动的变速箱，镀膜室侧壁设置有加热电阻，所述加热电阻外侧设置有隔热绝缘层；所述镀膜室内沿轴承竖直方向设置有若干托盘，所述托盘上设置有若干固定待镀膜工件的支撑杆，所述镀膜室内还设置有若干喷枪，所述镀膜室侧壁设置有与设备舱连通的通孔；所述的轴承、托盘、支撑杆、喷枪等操作设备设置在镀膜室内侧，仅开设有与设备舱连通的通孔，体系密闭性高。

所述设备舱设置有真空系统和控制柜，所述真空系统通过穿过通孔的管道连接镀膜室，所述管道呈Y型，同时连接有扩散泵和机械泵，所述管道和扩散泵间设置有高真空蝶阀，所述管道和机械泵间设置有低真空蝶阀；管道呈Y型，可以根据具体要求，切换高真空蝶阀或低真空蝶阀进行工作；采用扩散泵，可以提高抽气性能，而且是其返流率降低，可以实现超高真空，一定程度上降低镀膜操作中所需要的热能，延长镀膜机的使用寿命。

进一步的，所述扩散泵和低真空蝶阀间设置有储气桶，设置储气桶可以将扩散泵排出的气体在储气桶中压缩存储，然后被机械泵抽气抽走，进一步避免了抽真空过程中气体返流，提高设备安全，降低返流率。

进一步的，所述喷枪通过设置的电机二控制。

进一步的，所述变速箱通过导线连接有电机一，所述电机一设置在设备舱内，电机通过管线设置在设备舱内，镀膜机设备美观，便于运输。

进一步的，所述镀膜机舱门上设置有观察窗，设置的观察窗可以在不打开镀膜机舱门的前提下观察镀膜情况，及时发现潜在问题，提高工作效率。

进一步的，所述的管道和通孔为过盈配合；过盈配合的连接方式，可以保障通孔边缘与管道的连接紧密度，进一步提高镀膜机整机的密封性。

本发明还公开一种高密封性能真空镀膜机的控制方法，该控制方法包括以下步骤：