[发明专利]高密封性能真空镀膜机及其控制方法

权利要求书

1.高密封性能真空镀膜机，具有机架(1)、镀膜室(2)、设备舱(3)，其特征在于：

所述机架(1)包括镀膜机机架(101)和使镀膜室封闭的镀膜机舱门(102)，所述镀膜机机架(101)与镀膜机舱门(102)活动连接，所述镀膜机机架(101)与镀膜机舱门(102)闭合接触面上设置有相应的凹槽(104)，所述凹槽(104)中设置有密封胶条(105)；

所述镀膜室(2)中心设置有轴承(203)，所述轴承(203)上端连接有驱动轴承转动的变速箱(4)，镀膜室(2)侧壁设置有加热电阻(201)，所述加热电阻(201)外侧设置有隔热绝缘层(202)；所述镀膜室(2)内沿轴承(203)竖直方向设置有若干托盘(204)，所述托盘(204)上设置有若干固定待镀膜工件的支撑杆(205)，所述镀膜室(2)内还设置有若干喷枪(206)，所述镀膜室(2)侧壁设置有与设备舱(3)连通的通孔(208)；

所述设备舱(3)设置有真空系统和控制柜(6)，所述真空系统通过穿过通孔(208)的管道(303)连接镀膜室(2)，所述管道(303)同时连接有扩散泵(302)和机械泵(306)，所述管道(303)和扩散泵(302)间设置有高真空蝶阀(301)，所述管道(303)和机械泵(306)间设置有低真空蝶阀(305)。

2.如权利要求1所述的高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述扩散泵(302)和低真空蝶阀(305)间设置有储气桶(304)。

3.如权利要求1所述的高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述喷枪(206)通过设置的电机二(207)控制。

4.如权利要求1所述的高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述变速箱(4)通过导线连接有电机一(5)。

5.如权利要求4所述的高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述电机一(5)设置在设备舱(3)内。

6.如权利要求1所述的高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜机舱门(102)上设置有观察窗(103)。

7.如权利要求1所述的高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述的管道(303)和通孔(208)为过盈配合。

8.高密封性能真空镀膜机的控制方法，其特征在于，该控制方法包括以下步骤：

步骤一，关闭镀膜机舱门(102)，将镀膜机舱门(102)关闭，镀膜室为密封状态；

步骤二，抽真空，控制柜(6)控制机械泵(306)工作，先关闭高真空蝶阀(301)，镀膜室(2)内气体从低真空蝶阀(305)被机械泵抽出，实现真空状态，通过外设压力表检测镀膜室(2)内的真空度；

步骤三，镀膜室升温，控制柜(6)控制加热电阻(201)工作，并通过温度传感器检测镀膜室(2)内的温度，待达到预设温度且温度稳定后打开电机一(5)；

步骤四，转动轴承，控制柜(6)控制电机一(5)驱动，电机一(5)驱动变速箱(4)工作，轴承(203)旋转，转速有控制柜(6)控制；

步骤五，镀膜，镀膜室温度、真空度达指定要求后，控制柜(6)控制电机二(207)工作，喷枪(206)向镀膜室内喷出镀膜材料，镀膜材料沉积在待加工工件表面；镀膜操作时轴承一直转动；

步骤六，取出工件，通过观察窗(103)观察镀膜情况，待镀膜厚度达标后，停止抽真空、加热以及轴承停转，体系冷却后镀膜室(2)泄压，打开镀膜机舱门(102)，取出工件。

9.如权利要求8所述的高密封性能真空镀膜机的控制方法，其特征在于：所述抽真空可以进一步抽成高真空状态，镀膜室(2)气体从低真空蝶阀(305)气体从低真空状态后，控制柜(6)打开高真空蝶阀(301)，体系剩余气体从扩散泵(302)排出，排出的气体在储气桶(304)中压缩存储，机械泵(306)持续从储气桶(304)中抽气。