[发明专利]目标开度推断器以及压力调整真空阀有效
| 申请号： | 201910191927.0 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN110307388B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F16K37/00 | 分类号： | F16K37/00;F16K3/06;F16K51/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;姚开丽 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够精度良好地算出目标开度推断值的目标开度推断器以及压力调整真空阀。目标开度推断器(110)基于压力调整真空阀(1)的阀体(12)的开度和连接压力调整真空阀(1)的真空腔室的压力的相关关系，与当前的开度及压力，来推断真空腔室的压力达到调压目标压力(Ps)时的阀体(12)的开度即目标开度推断值(θe)。 | ||
| 搜索关键词： | 目标 推断 以及 压力 调整 真空 | ||
【主权项】：
1.一种目标开度推断器，其特在在于，基于压力调整真空阀的阀体的开度和连接所述压力调整真空阀的真空腔室的压力的相关关系，与当前的所述开度及所述压力，来推断所述真空腔室的压力达到调压目标压力时的所述阀体的开度即目标开度推断值。
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