[发明专利]目标开度推断器以及压力调整真空阀

权利要求书

1.一种目标开度推断器，其特征在于，基于压力调整真空阀的阀体的开度和连接所述压力调整真空阀的真空腔室的压力的相关关系，与当前的所述开度及所述压力，来推断所述真空腔室的压力达到调压目标压力时的所述阀体的开度即目标开度推断值，

所述相关关系是表示相对于开度变化的压力响应特性的相关关系，

所述相关关系是当将所述真空腔室的压力设为P、将所述真空腔室的压力的变化设为△P、将所述阀体的开度的变化设为△θ时，用式子|(△P/△θ)|/P表示的量。

2.根据权利要求1所述的目标开度推断器，其特征在于，

反复进行开度增量的相加直到基于对当前的开度加上所述开度增量所得的相加后开度与所述相关关系而算出的压力成为所述调压目标压力以上为止，从而推断所述目标开度推断值，

在相加前开度未满规定开度的情况下，使用第1开度增量作为所述开度增量，在相加前开度为规定开度以上的情况下，使用比所述第1开度增量大的第2开度增量作为所述开度增量。

3.一种压力调整真空阀，其特征在于包括：

阀体，进行开闭驱动；

根据权利要求1或2所述的目标开度推断器；以及

开度控制部，基于由所述目标开度推断器推断的目标开度推断值来控制所述阀体的开度。

4.根据权利要求3所述的压力调整真空阀，其特征在于，

所述开度控制部是利用阀体驱动从调压开始时输出从当前的开度到目标开度推断值为止的前馈开度，来对所述阀体的开度进行前馈控制。

5.根据权利要求4所述的压力调整真空阀，其特征在于，

所述开度控制部进行所述前馈控制，还进行反馈控制，

在所述反馈控制中，在所述前馈开度达到所述目标开度推断值之前输出值为零的反馈开度，若所述前馈开度达到所述目标开度推断值，则输出与所述真空腔室的压力相对于所述调压目标压力的偏差相对应的反馈开度。

6.根据权利要求4或5所述的压力调整真空阀，其特征在于，

所述开度控制部在所述调压目标压力低于所述真空腔室的压力的情况下，输出从当前的开度到比所述目标开度推断值大的开度为止的前馈开度，

在所述调压目标压力高于所述真空腔室的压力的情况下，输出从当前的开度到比所述目标开度推断值小的开度为止的前馈开度。