[发明专利]一种高致密超细晶大尺寸钼靶材的制备方法

摘要

本发明提供一种高致密超细晶大尺寸钼靶材的制备方法，通过冷等静压压型‑烧结‑热等静压压型‑热轧制‑退火‑机加工的工艺流程来制备钼靶材，钼靶材先通过热等静压处理后，对钼靶材坯料进行了第一次致密化处理，然后将该坯料进行热轧处理，对钼靶材坯料进行了第二次致密化处理，最后经过950‑1100℃，保温60‑90min的退火处理及机械加工等工序获得所需性能的钼靶材。本发明的制备方法能够制作出高纯度(纯度达到99.9％以上))、全致密(密度达到99.9％以上)、超细晶(晶粒度小于20μm)的钼靶材，可满足要求越来越高的溅射工艺，提高薄膜溅射速度，改善钼金属溅射薄膜的质量，提高薄膜性能。

主权项

1.一种高致密超细晶大尺寸钼靶材的制备方法，其特征在于，所述钼靶材的制备方法包括以下步骤：(1)冷等静压压型选取钼粉，将准备好的钼粉装入到模具中，然后放入冷静压设备中进行冷等静压压型处理，卸压后得到冷等静压坯体；(2)烧结将冷等静压坯体采用感应烧结方式在烧结炉中进行烧结，烧结炉中通入还原性气体，冷却后得到烧结坯体；(3)热等静压压型将烧结完成的烧结坯体进行机械加工整形，整形之后采用热等静压压型进行第一次致密化处理，在热等静压设备中进行热等静压压型，并通入惰性气体，防止坯体氧化及杂质混入，保温后冷却，然后将坯体取出，得到第一次致密化坯体；(4)热轧将热等静压压型后的第一次致密化坯体进行热轧处理，得到第二次致密化坯体；(5)退火将热轧后的第二次致密化坯体进行再结晶退火处理，形成钼靶材板材；(6)机械加工将钼靶材板材进行机械加工，切割成所需尺寸，并磨削至所需厚度，得到钼靶材。