[发明专利]带有柔性转接板的大尺寸芯片系统封装结构及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201910178959.7 申请日: 2019-03-08
公开(公告)号: CN109904139B 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 于中尧 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: H01L23/498 分类号: H01L23/498;H01L23/367;H01L21/48;H01L21/60;H01L21/683
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种带有柔性转接板的大尺寸芯片系统封装结构及其制作方法,其中该结构包括:柔性转接板,其设置有第一开窗;第一芯片,其正面和背面均具有散热结构,倒装于该柔性转接板上,与柔性转接板电气互连,第一芯片正面的散热结构嵌入该第一开窗中;基板,其设置有第二开窗,第一芯片倒装于柔性转接板形成第一结构,该第一结构倒装于该基板的第二开窗中,第一芯片及其背面的散热结构嵌入第二开窗内部,柔性转接板与基板固定并电气连接;元器件,固定于该基板上下表面的基板表面焊盘上;以及散热器,分别设置于柔性转接板背面和基板背面。在避免虚焊的同时保证了散热和封装的可靠性,还大幅度减小封装体积、减小信号传输路径、以及减小损耗。
搜索关键词: 带有 柔性 转接 尺寸 芯片 系统 封装 结构 及其 制作方法
【主权项】:
1.一种带有柔性转接板的大尺寸芯片系统封装结构,其特征在于,包括:柔性转接板(2),其设置有第一开窗(21);第一芯片(1),其正面和背面均具有散热结构,倒装于该柔性转接板(2)上,与柔性转接板(2)电气互连,该第一芯片(1)正面的散热结构嵌入该第一开窗(21)中;基板,其设置有第二开窗(24),第一芯片(1)倒装于柔性转接板(2)形成第一结构,该第一结构倒装于该基板的第二开窗(24)中,第一芯片(1)及其背面的散热结构嵌入第二开窗(24)内部,柔性转接板(2)与基板固定并电气连接。
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