[发明专利]带有柔性转接板的大尺寸芯片系统封装结构及其制作方法有效
| 申请号: | 201910178959.7 | 申请日: | 2019-03-08 |
| 公开(公告)号: | CN109904139B | 公开(公告)日: | 2020-12-25 |
| 发明(设计)人: | 于中尧 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/367;H01L21/48;H01L21/60;H01L21/683 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
| 地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 带有 柔性 转接 尺寸 芯片 系统 封装 结构 及其 制作方法 | ||
1.一种带有柔性转接板的大尺寸芯片系统封装结构,其特征在于,包括:
柔性转接板(2),其设置有第一开窗(21);
第一芯片(1),其正面和背面均具有散热结构,倒装于该柔性转接板(2)上,与柔性转接板(2)电气互连,该第一芯片(1)正面的散热结构嵌入该第一开窗(21)中;
基板,其设置有第二开窗(24),第一芯片(1)倒装于柔性转接板(2)形成第一结构,该第一结构倒装于该基板的第二开窗(24)中,第一芯片(1)及其背面的散热结构嵌入第二开窗(24)内部,柔性转接板(2)与基板固定并电气连接。
2.根据权利要求1所述的带有柔性转接板的大尺寸芯片系统封装结构,其特征在于,还包括:
元器件(5),固定于该基板上下表面的基板表面焊盘(25)上,与该基板中的基板布线(15)电气互连;以及
散热器(3),分别设置于柔性转接板(2)背面和基板背面,位于柔性转接板(2)背面的散热器(3)与柔性转接板(2)、位于第一开窗(21)中的第一芯片(1)正面的散热结构、以及上表面元器件(5)同时键合;位于基板背面的散热器(3)与位于第二开窗(24)中的第一芯片(1)背面的散热结构以及下表面元器件(5)同时键合,实现系统封装与散热。
3.根据权利要求2所述的带有柔性转接板的大尺寸芯片系统封装结构,其特征在于,
所述第一芯片(1)正面的散热结构包括:芯片正面散热层(7),贴附于第一芯片(1)正面;嵌入散热金属层(8),与芯片正面散热层(7)键合;
所述第一芯片(1)背面的散热结构包括:芯片背面散热层(10)。
4.根据权利要求2所述的带有柔性转接板的大尺寸芯片系统封装结构,其特征在于,
所述柔性转接板(2)的正面设置有柔性转接板正面焊盘(20),该柔性转接板正面焊盘(20)包含第一焊盘和第二焊盘,第一焊盘与第二焊盘之间电气互连;其中第二焊盘的分布设置与第一芯片(1)的芯片焊盘(19)的设置一一对应,第一焊盘的分布设置与基板上表面的第二部分基板表面焊盘(25)的设置一一对应,该第二部分基板表面焊盘(25)为未固定有元器件(5)的基板表面焊盘(25);
所述柔性转接板(2)的背面设置有柔性转接板背面金属层(17);
其中,该第一芯片(1)倒装于该柔性转接板(2)上时,通过第二焊盘与芯片焊盘(19)的焊接实现第一芯片(1)与柔性转接板(2)的电气互连;
该第一芯片(1)倒装于柔性转接板(2)形成的结构倒装于该基板的第二开窗(24)中时,通过第一焊盘与第二部分基板表面焊盘(25)的焊接实现柔性转接板(2)与基板的固定及电气连接;
元器件(5)通过基板的基板布线(15)电气连接至柔性转接板(2)所连接的第一芯片(1),实现元器件(5)与第一芯片(1)的通信。
5.根据权利要求4所述的带有柔性转接板的大尺寸芯片系统封装结构,其特征在于,
第二焊盘与芯片焊盘(19)通过第二焊球(12)实现焊接,第一焊盘与第二部分基板表面焊盘(25)通过第一焊球(11)实现焊接;
第一芯片(1)与第一开窗(21)的周围存在第一间隙,在该第一间隙以及第二焊球(12)周围的空隙中均填充有树脂材料(16);和/或,
第一芯片(1)及其背面的散热结构与第二开窗(24)的周围存在第二间隙,在该第二间隙以及第一焊球(11)周围的空隙中均填充有树脂材料(16)。
6.根据权利要求2所述的带有柔性转接板的大尺寸芯片系统封装结构,其特征在于,位于基板背面的散热器(3)上制作有散热器凸台(6),所述散热器凸台(6)的高度满足:使得位于基板背面的散热器(3)与位于第二开窗(24)中的第一芯片(1)背面的散热结构键合的同时还能与下表面元器件(5)键合。
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