[发明专利]传感器器件、力检测装置以及机器人有效
| 申请号： | 201910140516.9 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN110208574B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 小松洋;河合宏纪;竖山光普;宫坂英男 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/00 | 分类号： | G01P15/00;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 纪秀凤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种传感器器件、力检测装置以及机器人，能够发挥优异的力检测特性。传感器器件具备：基体，具有凹部；盖体，堵塞所述凹部的开口；力检测元件，配置于所述凹部，够成为包括第一元件和第二元件，该第一元件根据第一方向的外力输出第一信号，该第二元件层叠于所述第一元件，根据第二方向的外力输出第二信号；第一电路，配置于所述凹部，对所述第一信号进行处理；第二电路，配置于所述凹部，对所述第二信号进行处理，当将在所述基体的俯视观察中所述第一电路以及所述第二电路排列的方向作为第三方向、将与所述第三方向正交的方向作为第四方向时，在所述第三方向上，所述力检测元件位于所述第一电路与所述第二电路之间。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 器件 检测 装置 以及 机器人 | ||
【主权项】：
1.一种传感器器件，其特征在于，具备：基体，具有凹部；盖体，堵塞所述凹部的开口；力检测元件，配置于所述凹部，构成为包括第一元件和第二元件，所述第一元件根据第一方向的外力输出第一信号，所述第二元件层叠于所述第一元件，根据第二方向的外力输出第二信号；第一电路，配置于所述凹部，对所述第一信号进行处理；以及第二电路，配置于所述凹部，对所述第二信号进行处理，当将在所述基体的俯视观察中所述第一电路以及所述第二电路排列的方向作为第三方向、将与所述第三方向正交的方向作为第四方向时，在所述第三方向上，所述力检测元件位于所述第一电路与所述第二电路之间。
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