[发明专利]传感器器件、力检测装置以及机器人

权利要求书

1.一种传感器器件，其特征在于，具备：

基体，具有凹部；

盖体，堵塞所述凹部的开口；

力检测元件，配置于所述凹部，构成为包括第一元件和第二元件，所述第一元件根据第一方向的外力输出第一信号，所述第二元件层叠于所述第一元件，根据第二方向的外力输出第二信号；

第一电路，配置于所述凹部，对所述第一信号进行处理；以及

第二电路，配置于所述凹部，对所述第二信号进行处理，

当将在所述基体的俯视观察中所述第一电路以及所述第二电路排列的方向作为第三方向、将与所述第三方向正交的方向作为第四方向时，

在所述第三方向上，所述力检测元件位于所述第一电路与所述第二电路之间。

2.根据权利要求1所述的传感器器件，其特征在于，具备：

第一连接部件，将所述第一电路的配线与所述第一元件电连接；以及

第二连接部件，将所述第二电路的配线与所述第二元件电连接，所述第一连接部件以及所述第二连接部件沿所述第四方向排列配置。

3.根据权利要求1所述的传感器器件，其特征在于，具备：

第一连接部件，将所述第一电路的配线与所述第一元件电连接；以及

第二连接部件，将所述第二电路的配线与所述第二元件电连接，

所述第一元件是第一压电元件，

所述第二元件是第二压电元件，

在所述基体的俯视观察中，所述第一电路以及所述第二电路配置在相对于通过所述力检测元件的中心且与所述第四方向平行的直线线性对称的位置，

在所述基体的俯视观察中，所述第一连接部件以及所述第二连接部件位于所述力检测元件的与所述第三方向平行的同一边。

4.根据权利要求1所述的传感器器件，其特征在于，具有：

第一连接部件，将所述第一电路的配线与所述第一元件电连接；以及

第二连接部件，将所述第二电路的配线与所述第二元件电连接，

所述第一元件是第一压电元件，

所述第二元件是第二压电元件，

在所述基体的俯视观察中，所述第一电路以及所述第二电路配置在相对于所述力检测元件的中心点对称的位置，

在所述基体的俯视观察中，所述第一连接部件位于所述力检测元件的与第三方向平行的第一边，

在所述基体的俯视观察中，所述第二连接部件位于所述力检测元件的与第三方向平行的第二边。

5.根据权利要求3或4所述的传感器器件，其特征在于，

所述第一元件输出第一电荷作为所述第一信号，

所述第二元件输出第二电荷作为所述第二信号，

所述第一电路是将所述第一电荷转换为电压的电路，

所述第二电路是将所述第二电荷转换为电压的电路。

6.根据权利要求5所述的传感器器件，其特征在于，

所述第一电路包括输入所述第一电荷的电阻、或蓄积所述第一电荷的蓄电部、或对基于所述第一电荷的电压进行放大的放大器，

所述第二电路包括输入所述第二电荷的电阻、或蓄积所述第二电荷的蓄电部、或对基于所述第二电荷的电压进行放大的放大器。

7.根据权利要求3所述的传感器器件，其特征在于，

所述第一压电元件以及所述第二压电元件包含石英晶体。

8.一种力检测装置，其特征在于，具备：

第一基板；

第二基板；

权利要求1至7中任一项所述的传感器器件，所述传感器器件由所述第一基板和所述第二基板夹持；以及

螺栓，将所述第一基板与所述第二基板紧固。

9.一种机器人，其特征在于，具备：

基座；

臂，与所述基座连接；以及

权利要求8所述的力检测装置。