[发明专利]传感器器件、力检测装置以及机器人

说明书

本发明提供一种传感器器件、力检测装置以及机器人，能够发挥优异的力检测特性。传感器器件具备：基体，具有凹部；盖体，堵塞所述凹部的开口；力检测元件，配置于所述凹部，够成为包括第一元件和第二元件，该第一元件根据第一方向的外力输出第一信号，该第二元件层叠于所述第一元件，根据第二方向的外力输出第二信号；第一电路，配置于所述凹部，对所述第一信号进行处理；第二电路，配置于所述凹部，对所述第二信号进行处理，当将在所述基体的俯视观察中所述第一电路以及所述第二电路排列的方向作为第三方向、将与所述第三方向正交的方向作为第四方向时，在所述第三方向上，所述力检测元件位于所述第一电路与所述第二电路之间。

技术领域

本发明涉及传感器器件、力检测装置以及机器人。

背景技术

专利文献1所记载的传感器器件是能够分别独立地检测X轴、Y轴以及Z轴的加速度的加速度传感器，具有：传感器基座、安装于传感器基座的电路基板、安装于电路基板的层叠压电元件以及对来自层叠压电元件的信号进行处理的处理电路。

在这样的加速度传感器中，为了分别独立地检测X轴、Y轴以及Z轴的加速度，作为处理电路，需要基于来自层叠压电元件的信号来检测X轴方向的加速度的X轴处理电路、基于来自层叠压电元件的信号来检测Y轴方向的加速度的Y轴处理电路、以及基于来自层叠压电元件的信号来检测Z轴方向的加速度的Z轴处理电路。

但是，在专利文献1中，若参照图5，则多轴检测用的多个压电元件配置在基板上，这些压电元件的信号处理电路配置在相对于配置压电元件的基板而为两层的另外的基板上。

这样，如果多个压电元件的信号处理电路配置在成为两层的另外的基板上，则就导致多个轴的各压电元件的信号处理电路被配置为接近，从层叠压电元件中输出的各轴的信号彼此相互干扰而成为噪声的可能性增加。因此，在专利文献1的加速度传感器中，存在无法发挥优异的加速度检测特性这样的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-314744号公报。

发明内容

本发明的目的在于提供一种传感器器件、力检测装置以及机器人，能够发挥优异的检测特性，减少多轴检测中的信号干扰。

用于解决技术问题的手段

作为本发明的一方面的传感器器件的特征在于，

具备：

基体，具有凹部；

盖体，堵塞所述凹部的开口，将所述凹部密闭；以及

配置于所述凹部内的第一元件以及第二元件，所述第一元件根据第一方向的外力输出第一信号，所述第二元件根据与所述第一方向不同的第二方向的外力输出第二信号，

并具有：

第一电路，配置于所述凹部内，对所述第一信号进行处理；

第二电路，配置于所述凹部内，对所述第二信号进行处理，

在所述基体的俯视观察中，所述第一电路位于作为所述第一元件的一侧、且作为与所述第一元件的所述一侧相同侧的所述第二元件的一侧，

所述第二电路位于作为所述第一元件的另一侧、且作为与所述第一元件的所述另一侧相同侧的所述第二元件的另一侧。

由此，能够在凹部内尽量分离地配置第一电路和第二电路。因此，第一电路与第二电路的干扰被减少，能够有效地抑制来自第二电路的噪声叠加在第一信号上或者相反地来自第一电路的噪声叠加在第二信号上。因此，能够通过第一电路来高精度地处理第一信号，能够通过第二电路来高精度地处理第二信号。其结果，能够高精度地检测受到的外力，可得到能够发挥优异的力检测特性的传感器器件。