[发明专利]蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置在审
| 申请号： | 201910138134.2 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN109666899A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 唐俊杰;高松;王会;邱林林;吴伟力 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了提供一种蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置。蒸发源的冷却装置包括冷却件和驱动装置。冷却件用于冷却蒸发源的坩埚。驱动装置与冷却件连接，用于驱动冷却件移动至坩埚处。本发明通过驱动装置将冷却件推进到坩埚处，加快了坩埚的降温速度，减少了坩埚的降温时长。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却件 坩埚 蒸发源 冷却装置 驱动装置 蒸发源装置 蒸镀装置 时长 冷却 驱动 移动 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源的冷却装置，其特征在于，包括：冷却件，用于冷却所述蒸发源的坩埚；以及驱动装置，与所述冷却件连接，用于驱动所述冷却件移动至所述坩埚处。
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