[发明专利]蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置

说明书

本发明提供了提供一种蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置。蒸发源的冷却装置包括冷却件和驱动装置。冷却件用于冷却蒸发源的坩埚。驱动装置与冷却件连接，用于驱动冷却件移动至坩埚处。本发明通过驱动装置将冷却件推进到坩埚处，加快了坩埚的降温速度，减少了坩埚的降温时长。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置。

背景技术

由于有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示屏幕具有可视角度大、超薄和节约电能等特点，使其在显示技术领域得到了广泛的应用。

目前，OLED器件的制作主要采用蒸镀装置在真空环境下加热蒸镀材料，使蒸镀材料在高温状态下气化，均匀沉积在OLED器件的待蒸镀基板表面。现有的蒸镀装置的蒸镀腔体一般是一体开放型，每当蒸镀材料消耗完毕需要进行停机填料，或者当OLED器件的待蒸镀基板或基板固定座发生故障时，一般会先降温再打开腔体。

然而，现有技术中蒸发源的降温时间过长，进而加长了保养周期，降低了产能。

发明内容

针对以上所述的蒸发源在降温过程中的问题，本发明实施例提供了一种蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置。

本发明实施例的第一方面在于提供一种蒸发源的冷却装置，包括：冷却件，用于冷却蒸发源的坩埚；以及驱动装置，与冷却件连接，用于驱动冷却件移动至坩埚处。

在某些实施例中，蒸发源的冷却装置还包括：控制器，用于在控制器接收到为坩埚降温的指令时控制驱动装置驱动冷却件移动至坩埚处。

在某些实施例中，驱动装置在坩埚处于工作状态时用于牵引冷却件远离坩埚处。

在某些实施例中，驱动装置包括伸缩件，设置于所述冷却件下方，与冷却件的坩埚所在侧的相反侧连接。

在某些实施例中，冷却件设置于坩埚下，驱动装置设置于冷却件下方。

在某些实施例中，冷却件上设置有通孔，驱动装置还包括支撑块，设置于伸缩件下方，所述伸缩件设置在所述冷却件与所述支撑块之间，蒸发源冷却装置还包括：支撑杆，设置在支撑块上，且通过通孔与坩埚连接，以支撑坩埚。

在某些实施例中，冷却件包括隔热板和至少一个冷却通道，至少一个冷却通道设置于隔热板中，至少一个冷却通道中通有冷却液。

在某些实施例中，至少一个冷却通道包括入口和出口，冷却件还包括至少一个波纹管，设置于冷却件的坩埚所在侧的相反侧上，与入口或出口连接。

在某些实施例中，蒸发源的冷却装置还包括：隔热件，围绕坩埚与冷却件共同形成一个具有上部开口的空腔。

本发明实施例的第二方面在于提供一种蒸发源装置，包括：坩埚；以上蒸发源的冷却装置。

本发明实施例的第三方面在于提供一种蒸镀装置，包括：蒸镀腔室；以上蒸发源装置，设置于蒸镀腔室中。

本发明实施例的第四方面在于提供一种蒸发源装置的降温方法，蒸发源装置包括坩埚、以上蒸发源的冷却装置和控制器，以上方法包括：控制器接收到为坩埚降温的指令；控制器控制驱动装置驱动冷却件移动至坩埚处。

根据本发明实施例提供的技术方案，通过驱动装置驱动冷却件移动至坩埚处，使得坩埚可以通过更有效的热传导方式将热量传导至冷却件中，从而加快了坩埚的降温速度，减少了坩埚的降温时长，进而减少了生产维修(Productive Maintenance，PM)时间，提升了产品产能。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。