[发明专利]蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸发源的冷却装置，其特征在于，包括：

冷却件，用于冷却所述蒸发源的坩埚；以及

驱动装置，与所述冷却件连接，用于驱动所述冷却件移动至所述坩埚处。

2.根据权利要求1所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，还包括：

控制器，用于在所述控制器接收到为所述坩埚降温的指令时控制所述驱动装置驱动所述冷却件移动至所述坩埚处。

3.根据权利要求1所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述驱动装置包括伸缩件，设置于所述冷却件下方，与所述冷却件的所述坩埚所在侧的相反侧连接。

4.根据权利要求3所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却件设置于所述坩埚下，所述驱动装置设置于所述冷却件下方。

5.根据权利要求4所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却件上设置有通孔，所述驱动装置还包括支撑块，设置于所述伸缩件下方，所述伸缩件设置在所述冷却件与所述支撑块之间，

所述蒸发源的冷却装置还包括：支撑杆，设置在所述支撑块上，且通过所述通孔与所述坩埚连接，以支撑所述坩埚。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却件包括隔热板和至少一个冷却通道，所述至少一个冷却通道设置于所述隔热板中，所述至少一个冷却通道中通有冷却液。

7.根据权利要求6所述的蒸发源的冷却装置，其中，所述至少一个冷却通道包括入口和出口，

所述冷却件还包括至少一个波纹管，设置于所述冷却件的所述坩埚所在侧的相反侧上，与所述入口或出口连接。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的蒸发源的冷却装置，其中，还包括：

隔热件，围绕所述坩埚与所述冷却件共同形成一个具有上部开口的空腔。

9.一种蒸发源装置，其特征在于，包括：

坩埚；

权利要求1至8中任一项所述的蒸发源的冷却装置。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

蒸镀腔室；

至少一个权利要求8所述的蒸发源装置，设置于所述蒸镀腔室中。