[发明专利]覆板及其使用方法有效
| 申请号： | 201910110074.3 | 申请日： | 2019-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN110156343B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | D·L·拉布雷克;N·昆斯纳特迪诺夫 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | C03C17/42 | 分类号： | C03C17/42;C08J7/04;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
公开了覆板及其使用方法。覆板的主体可用于在具有不均匀形貌的基板上形成自适应平坦化层。覆板的主体可具有非常适合于实现共形和平坦化行为二者的弯曲特性。主体可以具有表面和在t |
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| 搜索关键词： | 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种覆板，其特征在于，包括：主体，具有表面和在t1到t2范围内的厚度，其中：t1＝(Pd4/2Eh)1/3，t2＝(5Pd4/2Eh)1/3，P是对应于来自主体和可成形前体材料之间的毛细力的贡献以及施加到覆板上的气体压力的总和的压力，d是弯曲距离，E是主体的杨氏模量，和h是基板的两个相邻区域之间的台阶高度差。
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