[发明专利]覆板及其使用方法

权利要求书

1.一种用于基板上的平坦化层中的覆板，其特征在于，覆板包括：

主体，具有表面和在t₁到t₂范围内的厚度，其中：

t₁＝(Pd⁴/2Eh)^1/3，

t₂＝(5Pd⁴/2Eh)^1/3，

P是对应于来自主体和可成形前体材料之间的毛细力的贡献以及施加到覆板上的气体压力的总和的压力，

d是弯曲距离，

E是主体的杨氏模量，和

h是基板的两个相邻区域之间的台阶高度差。

2.根据权利要求1所述的覆板，其中，所述覆板具有共形行为区域，所述共形行为区域具有至少5nm的面外位移。

3.根据权利要求2所述的覆板，其中，所述共形行为区域具有至少0.20mm的长度。

4.根据权利要求1所述的覆板，其中，所述覆板具有平坦化行为区域，所述平坦化行为区域具有至多1nm的面外位移。

5.根据权利要求4所述的覆板，其中，所述平坦化行为区域具有至多0.1mm的弯曲距离。

6.根据权利要求1所述的覆板，其中，所述主体包括玻璃或聚合物。

7.根据权利要求1所述的覆板，其中，所述主体对于用于聚合用于形成平坦化层的平坦化前体材料的辐射具有大于70％的透射率。

8.一种制造用于基板上的平坦化层中的覆板的方法，其特征在于，所述方法包括：去除材料的一部分以限定基板的主体，其中主体具有在t₁到t₂范围内的厚度，其中：

t₁＝(Pd⁴/2Eh)^1/3，

t₂＝(5Pd⁴/2Eh)^1/3，

P是对应于来自主体和可成形前体材料之间的毛细力的贡献以及施加到覆板上的气体压力的总和的压力，

d是弯曲距离，

E是主体的杨氏模量，和

h是基板的两个相邻区域之间的台阶高度差；以及

主体的厚度是主体的杨氏模量、台阶之间的距离和基板的两个相邻区域之间的台阶高度差的函数。

9.根据权利要求8所述的方法，其中：

主体包括玻璃，并且具有在0.20mm至0.95mm的范围内的厚度，或

主体包括聚乙烯，并且具有在0.25mm至1.1mm的范围内的厚度。

10.一种制造物品的方法，其特征在于，所述方法包括：

在基板上分配平坦化前体材料，其中基板包括不均匀的表面形貌；

使平坦化前体材料与覆板的主体接触，其中主体具有表面和在t₁到t₂范围内的厚度，其中：

t₁＝(Pd⁴/2Eh)^1/3，

t₂＝(5Pd⁴/2Eh)^1/3，

P是对应于来自主体和可成形前体材料之间的毛细力的贡献以及施加到覆板上的气体压力的总和的压力，

d是弯曲距离，

E是主体的杨氏模量，和

h是基板的两个相邻区域之间的台阶高度差；以及

聚合平坦化前体材料以在基板上形成平坦化层，其中在覆板与平坦化前体材料接触的同时执行固化。