[发明专利]一种磷硼检样棒头部预热拉晶方法在审
| 申请号： | 201910099636.9 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN109696345A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 牛晓玉;甘居富;游书华;彭中;王亚萍 | 申请（专利权）人： | 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;G01N1/34;G01N1/44;C30B28/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王学强;罗满 |
| 地址： | 014000 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磷硼检样棒头部预热拉晶方法，包括以下步骤：S1经套料出来的磷硼检样棒进行腐蚀清洗；S2将磷硼检样棒装入磷硼检炉内；S3将磷硼检样棒放置于石英环热装置内；S4通过高频线圈加热石英环热装置；S5磷硼检样棒变红后，抽除石英环热装置，进行化料引晶；S6拉制磷硼检样棒。本发明的磷硼检样棒根部预热法拉制省略了磨锥工序，避免了磨锥过程产生的金属污染，节约成本。磷硼检炉引晶时磷硼检样棒与籽晶熔接时间由原来的15‑30min缩短至1‑3min内，降低了磷硼检炉的电耗。采用石英环热装置(内包石墨)代替钼丝预热，可以循环使用，预热时间变短，洁净无污染，易清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 磷硼 检样 预热 热装置 石英环 棒头部 拉晶 磨锥 引晶 电耗 高频线圈 过程产生 加热石英 金属污染 拉制 石墨 易清洁 省略 化料 炉内 内包 熔接 套料 装入 籽晶 钼丝 清洗 腐蚀 洁净 节约 | ||
【主权项】：
1.一种磷硼检样棒头部预热拉晶方法，其特征在于：包括以下步骤：S1经套料出来的磷硼检样棒进行腐蚀清洗；S2将磷硼检样棒装入磷硼检炉内；S3将磷硼检样棒放置于石英环热装置内；S4通过高频线圈加热石英环热装置；S5磷硼检样棒变红后，抽除石英环热装置，进行化料引晶；S6拉制磷硼检样棒。所述石英环热装置为内含石墨的石英环热装置。
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