[发明专利]一种磷硼检样棒头部预热拉晶方法在审
| 申请号： | 201910099636.9 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN109696345A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 牛晓玉;甘居富;游书华;彭中;王亚萍 | 申请（专利权）人： | 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;G01N1/34;G01N1/44;C30B28/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王学强;罗满 |
| 地址： | 014000 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磷硼 检样 预热 热装置 石英环 棒头部 拉晶 磨锥 引晶 电耗 高频线圈 过程产生 加热石英 金属污染 拉制 石墨 易清洁 省略 化料 炉内 内包 熔接 套料 装入 籽晶 钼丝 清洗 腐蚀 洁净 节约 | ||
1.一种磷硼检样棒头部预热拉晶方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1经套料出来的磷硼检样棒进行腐蚀清洗；
S2将磷硼检样棒装入磷硼检炉内；
S3将磷硼检样棒放置于石英环热装置内；
S4通过高频线圈加热石英环热装置；
S5磷硼检样棒变红后，抽除石英环热装置，进行化料引晶；
S6拉制磷硼检样棒。
所述石英环热装置为内含石墨的石英环热装置。
2.根据权利要求1所述的磷硼检样棒头部预热拉晶方法，其特征在于：步骤S2中磷硼检样棒装入磷硼检炉的料座并用钼丝捆扎。
3.根据权利要求2所述的磷硼检样棒头部预热拉晶方法，其特征在于：步骤S2中石英环热装置放置在高频线圈正上方。
4.根据权利要求3所述的磷硼检样棒头部预热拉晶方法，其特征在于：步骤S3中下降上轴使磷硼检样棒进入石英预热装置内3-5mm。
5.根据权利要求4所述的磷硼检样棒头部预热拉晶方法，其特征在于：步骤S4中紧固磷硼检炉炉门并抽真空、充氩气，通过高频线圈加热至石英环热装置发红。
6.根据权利要求5所述的磷硼检样棒头部预热拉晶方法，其特征在于：步骤S5中磷硼检样棒变红后，升上轴抽掉石英预热装置，降母样棒至线圈高温区处进行化料。
7.根据权利要求6所述的磷硼检样棒头部预热拉晶方法，其特征在于：步骤S5中化料至熔区呈水滴状下垂后，升下轴籽晶与样棒熔区接触引晶。
8.根据权利要求7所述的磷硼检样棒头部预热拉晶方法，其特征在于：步骤S6中对温度、拉速进行调节，并进行缩颈、放肩、等径拉制、收尾的工艺流程。
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