[发明专利]一种磷硼检样棒头部预热拉晶方法

说明书

本发明公开了一种磷硼检样棒头部预热拉晶方法，包括以下步骤：S1经套料出来的磷硼检样棒进行腐蚀清洗；S2将磷硼检样棒装入磷硼检炉内；S3将磷硼检样棒放置于石英环热装置内；S4通过高频线圈加热石英环热装置；S5磷硼检样棒变红后，抽除石英环热装置，进行化料引晶；S6拉制磷硼检样棒。本发明的磷硼检样棒根部预热法拉制省略了磨锥工序，避免了磨锥过程产生的金属污染，节约成本。磷硼检炉引晶时磷硼检样棒与籽晶熔接时间由原来的15‑30min缩短至1‑3min内，降低了磷硼检炉的电耗。采用石英环热装置(内包石墨)代替钼丝预热，可以循环使用，预热时间变短，洁净无污染，易清洁。

技术领域

本发明涉及多晶硅工艺领域，具体为一种磷硼检样棒头部预热拉晶方法。

背景技术

目前磷硼检样棒的拉晶方法是将磷硼检母样棒先经磨锥、腐蚀清洗后装入磷硼检炉内，通过高频线圈加热钼丝引热籽晶，使籽晶头部局部熔化，籽晶与磷、硼检母样棒磨锥处充分接触引红样棒至充分熔接，经过缩颈、放肩、等径拉制、收尾拉制成晶。

现有技术的问题是：1、钼丝预热较慢，易污染磷、硼母样棒；2、引晶熔接时间较长；3、拉制时必须经过磨锥加工过程，易产生污染。

发明内容

本发明为了解决现有技术中存在的缺陷，提供一种能免去磨锥工序，采用石英环热装置，降低磷硼检炉电耗的磷硼检样棒头部预热拉晶方法。

本发明首先提供一种磷硼检样棒头部预热拉晶方法，包括以下步骤：

S1经套料出来的磷硼检样棒进行腐蚀清洗；

S2将磷硼检样棒装入磷硼检炉内；

S3将磷硼检样棒放置于石英环热装置内；

S4通过高频线圈加热石英环热装置；

S5磷硼检样棒变红后，抽除石英环热装置，进行化料引晶；

S6拉制磷硼检样棒。

所述石英环热装置为内含石墨的石英环热装置。

本发明还提供如下优化方案：

优选的，步骤S2中磷硼检样棒装入磷硼检炉的料座并用钼丝捆扎。

更优选的，步骤S2中石英环热装置放置在高频线圈正上方。

更优选的，步骤S3中下降上轴使磷硼检样棒进入石英预热装置内3-5mm。

更优选的，步骤S4中紧固磷硼检炉炉门并抽真空、充氩气，通过高频线圈加热至石英环热装置发红。

更优选的，步骤S5中磷硼检样棒变红后，升上轴抽掉石英预热装置，降母样棒至线圈高温区处进行化料。

更优选的，步骤S5中化料至熔区呈水滴状下垂后，升下轴籽晶与样棒熔区接触引晶。

更优选的，步骤S6中对温度、拉速进行调节，并进行缩颈、放肩、等径拉制、收尾的工艺流程。

本发明的有益效果是：

1、本发明的磷硼检样棒根部预热法拉制省略了磨锥工序，避免了磨锥过程产生的金属污染，节约成本。

2、磷硼检炉引晶时磷硼检样棒与籽晶熔接时间由原来的15-30min缩短至1-3min内，降低了磷硼检炉的电耗。

3、采用石英环热装置(内包石墨)代替钼丝预热，可以循环使用，预热时间变短，洁净无污染，易清洁。

附图说明

图1为本发明的磷硼检样棒头部预热拉晶方法的流程图。

具体实施方式