[发明专利]一种杂质分析用酸的制备方法在审
| 申请号： | 201910098881.8 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN109592656A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 曾一文;甘居富;游书华;彭中;王亚萍 | 申请（专利权）人： | 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/46 | 分类号： | C01B21/46;C01B7/19 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王学强;罗满 |
| 地址： | 014000 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种杂质分析用酸的制备方法，它是将国产GR酸通过亚沸蒸馏器进行多级精馏后制得，具体步骤为：(1)用去离子水将国产GR酸按照体积比1︰1进行稀释；(2)精馏罐空白确认实验后，向一级精馏罐中加入步骤(1)稀释好的酸至加满后开始蒸馏提纯操作，操作参数为：亚沸蒸馏器功率设置1000w，一级精馏罐产酸量为1000ml/24h，二级精馏罐产酸量为200ml/24h。本发明方法将国产酸中的杂质降到了1ppb以下，完全满足了三氯氢硅、多晶硅等样品的杂质分析检测需求，大大降低了样品检测分析的成本，并且亚沸蒸馏器设备结构简单，使用方便，造价低，维护保养费用低，为企业节约了生产成本，适合应用推广。 | ||
| 搜索关键词： | 亚沸蒸馏器 杂质分析 一级精馏 产酸量 稀释 制备 操作参数 多级精馏 二级精馏 功率设置 去离子水 三氯氢硅 设备结构 维护保养 样品检测 蒸馏提纯 多晶硅 精馏罐 体积比 生产成本 节约 检测 应用 分析 | ||
【主权项】：
1.一种杂质分析用酸的制备方法，其特征在于：将国产GR酸通过亚沸蒸馏器进行多级精馏后制得。
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