[发明专利]研磨装置有效
| 申请号： | 201910085943.1 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN110103132B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 金泰成;千成年 | 申请（专利权）人： | 韩商未来股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 汪丽红 |
| 地址： | 韩国京畿道华城*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的一实施例提供一种研磨装置，其包括：一个以上的第一研磨单元，包括至少一个第一主轴，沿第一方向配置成一列；一个以上的第一平台单元，配置到与所述第一研磨单元对应的位置，装设研磨对象体；以及第一移送单元，具备第一抓持器，所述第一抓持器沿所述第一方向延伸的第一轨道、沿所述第一轨道移动且沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸的第二轨道、及连接到所述第二轨道而通过所述第二轨道的移动朝所述第一方向移动或沿所述第二轨道朝所述第二方向移动来将所述研磨对象体搬送到所述第一平台单元。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，其特征在于包括：第一移送单元，具备沿第一方向延伸的第一轨道、沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸的第二轨道、及沿所述第一轨道与所述第二轨道移送研磨对象体的第一抓持器；第一平台单元，装设并固定由所述第一抓持器移送的所述研磨对象体；以及第一研磨单元，配置到与所述第一平台单元对应的位置，包括至少一个第一主轴，为了对所述研磨对象体进行研磨而能够朝所述第一平台单元移动。
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