[发明专利]基板处理装置及其控制装置、控制方法以及存储介质

摘要

一种能够将来自处理槽的处理液带出降低的基板处理装置，具备：对基板进行不同处理种类的处理的多个处理槽、输送基板的输送装置以及对由输送装置进行的基板的输送和多个处理槽内的基板处理进行控制的控制装置，控制装置构成为，能够按每个处理种类将从各处理槽拉出基板的拉出所需时间固定，以成为最大生产量的方式，创建在多个处理种类的多个处理槽之间输送基板并进行处理的输送调度，并且以如下方式对输送调度进行修正：基于向一处理种类的处理槽收纳基板后输送装置的等待时间和这一处理种类的处理槽内的基板处理后该处理槽的等待时间，将从基板的输送顺序中的前一处理种类的处理槽拉出基板的拉出所需时间延长。

主权项

1.一种基板处理装置，具备：对基板进行不同处理种类的处理的多个处理槽；输送所述基板的输送装置；和对由所述输送装置进行的所述基板的输送和所述多个处理槽内的基板处理进行控制的控制装置，所述控制装置构成为，能够按每个处理种类将从各处理槽拉出所述基板的拉出所需时间固定，以成为最大生产量的方式创建在多个处理种类的所述多个处理槽之间输送所述基板并进行处理的输送调度，并且能够以如下方式对所述输送调度进行修正：基于向一处理种类的处理槽收纳所述基板后所述输送装置的等待时间和这一处理种类的处理槽内的基板处理后该处理槽的等待时间，将从所述基板的输送顺序中的前一处理种类的处理槽拉出所述基板的拉出所需时间延长。