[发明专利]基板处理装置及其控制装置、控制方法以及存储介质

权利要求书

1.一种基板处理装置，具备：

对基板进行不同处理种类的处理的多个处理槽；

输送所述基板的输送装置；和

对由所述输送装置进行的所述基板的输送和所述多个处理槽内的基板处理进行控制的控制装置，

所述控制装置构成为，能够按每个处理种类将从各处理槽拉出所述基板的拉出所需时间固定，以成为最大生产量的方式创建在多个处理种类的所述多个处理槽之间输送所述基板并进行处理的输送调度，并且能够以如下方式对所述输送调度进行修正：基于向一处理种类的处理槽收纳所述基板后所述输送装置的等待时间和这一处理种类的处理槽内的基板处理后该处理槽的等待时间，将从所述基板的输送顺序中的前一处理种类的处理槽拉出所述基板的拉出所需时间延长，

所述控制装置以如下方式延长从所述前一处理种类的处理槽拉出所述基板的拉出所需时间，即，将向一处理种类的处理槽收纳所述基板后所述输送装置的等待时间和这一处理种类的处理槽内的基板处理后该处理槽的等待时间中的短的一方的等待时间的一部分或全部，加到从所述基板的输送顺序中的前一处理种类的处理槽拉出所述基板的拉出所需时间上。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述控制装置基于修正后的输送调度，对由所述输送装置进行的所述基板的输送和所述多个处理槽内的基板处理进行控制。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述控制装置将从所述短的一方的等待时间中减去规定时间后的时间，加到从所述前一处理种类的处理槽拉出所述基板的拉出所需时间上。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，

所述控制装置针对多个基板创建所述输送调度，并且按每个处理种类算出针对多个基板的、向一处理种类的处理槽收纳所述基板后所述输送装置的等待时间和这一处理种类的处理槽内的基板处理后该处理槽的等待时间中的最小值，将该最小值或者从该最小值中减去规定时间后的时间加到从各处理种类的前一处理种类的处理槽拉出所述基板的拉出所需时间上。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板处理装置，其中，

所述控制装置在由于从所述前一处理种类的处理槽拉出所述基板的拉出所需时间的延长而导致所述基板处理装置的生产量下降的情况下，进行将所述拉出所需时间的延长量降低的修正，或者使用所述修正前的输送调度。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的基板处理装置，其中，

所述控制装置通过将基于所述输送装置的所述基板的拉出速度降低、和/或、设定或延长从所述前一处理种类的处理槽拉出所述基板后所述前一处理槽内的待机时间，来执行所述基板的拉出所需时间的延长。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的基板处理装置，其中，

所述控制装置，判别所述拉出所需时间的延长是否被允许，在被允许了的情况下，进行将所述拉出所需时间延长的修正。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的基板处理装置，其中，

所述基板以保持于基板保持部件的状态被输送。

9.一种控制装置，是基板处理装置的控制装置，具备：

输送调度创建部，其创建在不同处理种类的多个处理槽之间输送所述基板并进行处理的输送调度；和

修正部，其进行如下的修正：通过将向一处理种类的处理槽收纳所述基板后输送装置的等待时间和这一处理种类的处理槽内的基板处理后该处理槽的等待时间中的短的一方的等待时间的一部分或全部，加到从所述基板的输送顺序中的前一处理种类的处理槽拉出所述基板的拉出所需时间上，由此将从所述前一处理种类的处理槽拉出所述基板的拉出所需时间延长。