[发明专利]基板处理装置及其控制装置、控制方法以及存储介质

说明书

一种能够将来自处理槽的处理液带出降低的基板处理装置，具备：对基板进行不同处理种类的处理的多个处理槽、输送基板的输送装置以及对由输送装置进行的基板的输送和多个处理槽内的基板处理进行控制的控制装置，控制装置构成为，能够按每个处理种类将从各处理槽拉出基板的拉出所需时间固定，以成为最大生产量的方式，创建在多个处理种类的多个处理槽之间输送基板并进行处理的输送调度，并且以如下方式对输送调度进行修正：基于向一处理种类的处理槽收纳基板后输送装置的等待时间和这一处理种类的处理槽内的基板处理后该处理槽的等待时间，将从基板的输送顺序中的前一处理种类的处理槽拉出基板的拉出所需时间延长。

技术领域

本发明涉及基板处理装置、基板处理装置的控制装置、基板处理装置的控制方法、保存有用于使计算机执行基板处理装置的控制方法的程序的存储介质。

背景技术

基板处理装置中存在各种构成的基板处理装置。基板处理装置例如具有收纳处理液(药液或纯水)的多个处理槽，由槽间移动用的输送机构将作为处理对象的基板或者保持着基板的基板保持机构在多个处理槽之间进行输送，对基板实施多个处理。在各处理槽中，由槽间移动用的输送机构或者别的升降输送机构将处理对象下降到处理槽而使其浸渍于处理液，由槽间移动用的输送机构或升降输送机构拉出规定处理后的处理对象，由槽间移动用的输送机构向下一处理槽进行输送。此时的下降动作和上升动作以预先设定的速度执行。

在基板处理装置接收到针对新搬入的基板的基板处理执行指示时，被称作基板输送调度器的调度安排(scheduling)软件基于给定的多个基板的处理条件(镀敷时间、电流值、处理后的输送等待时间的制约等)、输送机构的动作时间的设定信息等，以作为装置整体的每单位时间的处理张数(生产量)为最大的方式进行调度安排计算(例如专利文献1)。于是，基于所创建出的包括动作的种类、各动作的开始时间等信息的时间表数据，各输送控制设备进行基板或者保持着基板的基板保持机构的输送动作。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2011-146448号

发明内容

发明要解决的课题

一般而言，在进行相对于处理液槽的浸渍、拉出的方式中，处理液会附着于基板和/或基板支承件(以下一并简称为基板支承件)并被带出，因此需要补充与该量相当的新处理液。处理液价格高，因此要求尽可能减少从处理槽带出的处理液的带出量。

作为降低带出量的方法，通过使拉出基板支承件的速度变慢、或者在拉出后直接使其在原位停止一定时间从而使附着的处理液向原来的处理槽滴落，由此能够减少处理液的带出量，但是若拉出动作整体(从开始拉出到开始向下一处理槽移动为止)所需的拉出所需时间增加则会成为装置整体的生产量下降的原因。因此进行如下运用：预先通过实验、模拟等掌握了成为在不对生产量构成影响的范围内所容许的范围内的带出量那样的拉出速度，结果，在实际的生产时使用所掌握的固定的速度。根据基板的处理条件的不同，输送动作会有余量，所以有能够进一步削减处理液的带出量的可能性，但是存在以当前的技术无法实现根据基板的处理条件的不同而进一步削减处理液的带出量这一课题。

本发明的目的在于解决上述课题的至少一部分。

用于解决课题的技术方案