[发明专利]光扫描装置以及光扫描装置的制造方法有效
| 申请号： | 201910075666.6 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN110095859B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 关根久通;永渡麻衣子;佐藤圣也 | 申请（专利权）人： | 三美电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光扫描装置以及光扫描装置的制造方法，在该光扫描装置中增大压电传感器的输出，改善S/N比。本发明的光扫描装置具有：反射镜，其具有光反射面；反射镜支撑部，其支撑上述反射镜；一对驱动梁，其配置于上述反射镜支撑部的两侧，以能够摆动上述反射镜支撑部的方式连接；驱动源，其设于上述驱动梁，包括多个压电薄膜的层叠体，且使上述反射镜支撑部摆动；以及压电传感器，其形成于与上述驱动梁或者上述驱动源连结的连结梁，且包括层数比上述多个压电薄膜少的压电薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 装置 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光扫描装置，其特征在于，具有：反射镜，其具有光反射面；反射镜支撑部，其支撑上述反射镜；一对驱动梁，其配置于上述反射镜支撑部的两侧，以能够摆动上述反射镜支撑部的方式连接；驱动源，其设于上述驱动梁，包括多个压电薄膜的层叠体，且使上述反射镜支撑部摆动；以及压电传感器，其形成于与上述驱动梁或者上述驱动源连结的连结梁，且包括层数比上述多个压电薄膜少的压电薄膜。
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