[发明专利]光扫描装置以及光扫描装置的制造方法

说明书

本发明提供一种光扫描装置以及光扫描装置的制造方法，在该光扫描装置中增大压电传感器的输出，改善S/N比。本发明的光扫描装置具有：反射镜，其具有光反射面；反射镜支撑部，其支撑上述反射镜；一对驱动梁，其配置于上述反射镜支撑部的两侧，以能够摆动上述反射镜支撑部的方式连接；驱动源，其设于上述驱动梁，包括多个压电薄膜的层叠体，且使上述反射镜支撑部摆动；以及压电传感器，其形成于与上述驱动梁或者上述驱动源连结的连结梁，且包括层数比上述多个压电薄膜少的压电薄膜。

技术领域

本发明涉及光扫描装置以及光扫描装置的制造方法。

背景技术

一直以来，已知有一种通过驱动梁使反射镜部绕旋转轴旋转而扫描光的光扫描装置。在这样的光扫描装置中，使用了压电薄膜的压电元件作为驱动梁的驱动源、压电传感器而使用。压电元件利用逆压电效应作为驱动源而使用，对驱动梁进行驱动。另外，压电元件利用压电效应作为压电传感器而使用，感知驱动梁的位移、驱动状态。

压电传感器输出MEMS(Micro Electro Mechanical Systems；微电子机械系统)反射镜的倾斜角度、相对于驱动信号的反射镜面倾斜方向的相位差、或者水平及垂直的共振频率、它们的变动等信号，用于控制电路中的反馈控制。在使用压电元件作为驱动源的情况下，能够同时形成作为压电元件的驱动源和压电传感器，因此，工序上较方便。

一种具有多层构造的压电元件正在被使用，上述多层构造是在中部电极的上下层叠下层压电薄膜以及上层压电薄膜，并在其上下形成下部电极以及上部电极。若使用多层构造的压电元件作为驱动源，则驱动电压效率提高，能够进行低电压驱动，因此，具有消除由耐电压引起的元件破损的优点。另外，具有减轻升压IC或电路的负担的优点。

也能够使用多层构造的压电元件作为压电传感器。在使用多层构造的压电元件作为驱动源的情况下，为了提高驱动效率，下层的压电薄膜和上层的压电薄膜并联连接而使用。另一方面，形成有压电传感器的区域为狭小面，用于并联连接的布线困难，下层以及上层压电薄膜串联连接而使用。该情况下，例如外观上的压电薄膜的厚度是未串联连接的情况的两倍，因此，传感器输出电压是未串联连接的情况的1/2。

专利文献1公开了一种光偏转器，其使压电驱动器的前端部的PZT压电膜形成得比该压电驱动器的其它部分的PZT压电膜薄。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-169745号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在上述的光扫描装置中，需要增大压电传感器的输出，改善S/N比。

本发明鉴于上述的点而做成，其目的在于在光扫描装置中增大压电传感器的输出，改善S/N比。

用于解决课题的方案

本发明的一方案的光扫描装置1000具有：反射镜110，其具有光反射面；反射镜支撑部120，其支撑上述反射镜；一对驱动梁150A、150B、170A、170B，其配置于上述反射镜支撑部的两侧，以能够摆动上述反射镜支撑部的方式连接；驱动源151A、151B、171A，171B，其设于上述驱动梁，包括多个压电薄膜的层叠体，且使上述反射镜支撑部摆动；以及压电传感器191、192、195、196，其形成于与上述驱动梁或者上述驱动源连结的连结梁140A、140B，且包括层数比上述多个压电薄膜少的压电薄膜。

此外，上述参照符号是为了容易进行理解而标注的，仅为一例，并不限定于图示的方式。

发明效果

根据本发明的技术，能够在光扫描装置中增大压电传感器的输出，改善S/N比。

附图说明

图1是表示实施方式的光扫描装置的一例的第一立体图。