[发明专利]光扫描装置以及光扫描装置的制造方法

权利要求书

1.一种光扫描装置，其特征在于，具有：

反射镜，其具有光反射面；

反射镜支撑部，其支撑上述反射镜；

一对驱动梁，其配置于上述反射镜支撑部的两侧，以能够摆动上述反射镜支撑部的方式连接；

驱动源，其设于上述驱动梁，包括多个压电薄膜的层叠体，且使上述反射镜支撑部摆动；以及

压电传感器，其形成于与上述驱动梁或者上述驱动源连结的连结梁，且包括层数比上述多个压电薄膜少的压电薄膜。

2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，还具有：

可动框，其设于上述反射镜支撑部的外周；以及

扭转梁，其连接于上述反射镜支撑部且使上述反射镜支撑部能够摆动，

具有一对第一驱动梁作为上述驱动梁，该一对第一驱动梁配置于上述反射镜支撑部的两侧并与上述可动框的内周连接，且经由连结梁连接于上述扭转梁，

具有形成于上述连结梁的第一压电传感器作为上述压电传感器。

3.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，

具有设于上述反射镜支撑部的外周的可动框，

具有一对第二驱动梁作为上述驱动梁，该一对第二驱动梁配置于上述反射镜支撑部的两侧，且连接于上述可动框的外周以及固定框，

具有形成于上述第二驱动梁的第二压电传感器作为上述压电传感器。

4.根据权利要求2所述的光扫描装置，其特征在于，

具有一对第二驱动梁作为上述驱动梁，该一对第二驱动梁配置于上述反射镜支撑部的两侧，且连接于上述可动框的外周以及固定框，

具有形成于上述第二驱动梁的第二压电传感器作为上述压电传感器。

5.根据权利要求4所述的光扫描装置，其特征在于，

上述第二驱动梁具有沿垂直于规定的轴的方向延伸的多个梁，相邻的上述梁的端部彼此连结而整体为锯齿状的形状。

6.一种光扫描装置的制造方法，其特征在于，

为了制造光扫描装置，具有以下工序：

在具有支撑层、埋入层以及活性层的SOI基板的驱动源形成区域以及压电传感器形成区域中，将第一导电层、第一压电薄膜、第二导电层、第二压电薄膜、以及第三导电层依次层叠的工序；

在上述压电传感器形成区域中，除去上述第三导电层以及上述第二压电薄膜，形成上述第一导电层、上述第一压电薄膜、以及上述第二导电层层叠而成的压电传感器的工序；以及

在上述驱动源形成区域中，除去上述驱动源形成区域的一部分中的上述第三导电层以及上述第二压电薄膜而形成驱动源端子，形成第一导电层、第一压电薄膜、第二导电层、第二压电薄膜、以及第三导电层层叠而成的驱动源的工序，

其中，上述光扫描装置具有：反射镜，其具有光反射面；反射镜支撑部，其支撑上述反射镜；一对驱动梁，其配置于上述反射镜支撑部的两侧，以能够摆动上述反射镜支撑部的方式连接；驱动源，其设于上述驱动梁，包括多个压电薄膜的层叠体，且使上述反射镜支撑部摆动；以及压电传感器，其形成于与上述驱动梁或者上述驱动源连结的连结梁，且包括层数比上述多个压电薄膜少的压电薄膜。

7.根据权利要求6所述的光扫描装置的制造方法，其特征在于，

上述光扫描装置还具有：可动框，其设于上述反射镜支撑部的外周；扭转梁，其连接于上述反射镜支撑部且使上述反射镜支撑部能够摆动，

具有一对第一驱动梁作为上述驱动梁，该一对第一驱动梁配置于上述反射镜支撑部的两侧并与上述可动框的内周连接，且经由连结梁连接于上述扭转梁，

通过以下工序在上述连结梁形成第一压电传感器，该工序为，在上述压电传感器形成区域中，除去上述第三导电层以及上述第二压电薄膜，形成上述第一导电层、上述第一压电薄膜、以及上述第二导电层层叠而成的压电传感器。