[发明专利]一种刷片机用手臂模组

摘要

本发明公开了一种刷片机用手臂模组，该模组包括：摆臂；外轴，所述外轴中空，所述外轴的顶部与所述摆臂的第一端固定连接，所述外轴的底部与步进电机的转子驱动连接；内轴，所述内轴设置在所述外轴的内部，所述内轴的底部与驱动电机的转子驱动连接，所述内轴的顶部伸入所述摆臂的第一端内部，所述内轴与所述摆臂的第一端转动连接；传动单元；以及刷片单元，所述刷片单元转动设置在所述摆臂的第二端，所述刷片单元包括转轴，所述转轴通过所述传动单元与所述内轴驱动连接。本发明的有益效果为通过摆臂带动擦拭构件对晶片的擦拭动作，同时擦拭构件本身保持自转，实现双重的擦拭。

主权项

1.一种刷片机用手臂模组，其特征在于，该模组包括：摆臂（1）；外轴（2），所述外轴（2）中空，所述外轴（2）的顶部与所述摆臂的第一端（11）固定连接，所述外轴（2）的底部与步进电机（3）的转子驱动连接；内轴（4），所述内轴（4）设置在所述外轴（2）的内部，所述内轴（4）的底部与驱动电机（5）的转子驱动连接，所述内轴（4）的顶部伸入所述摆臂的第一端（11）内部，所述内轴（4）与所述摆臂的第一端（11）转动连接；传动单元；以及刷片单元（6），所述刷片单元（6）转动设置在所述摆臂的第二端（12），所述刷片单元（6）包括转轴（61），所述转轴（61）通过所述传动单元与所述内轴（4）驱动连接。