[发明专利]一种高度择优取向的铌酸钾钠薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910043148.6 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN109650443A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 张伟;朱海勇;吴浩;张雪花;胡芳仁 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | C01G33/00 | 分类号： | C01G33/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 吴飞 |
| 地址： | 210023 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高度择优取向的铌酸钾钠薄膜的制备方法，该方法步骤为：称取氧化铌溶解于氢氟酸得到NbF5溶液，随后加入草酸铵作为稳定剂，最后滴加碱性PH调试剂，得到白色沉淀Nb(OH)5；对白色沉淀进行洗涤过滤，加入柠檬酸使其于发生络合反应得到柠檬酸铌，随后再对柠檬酸铌进行进一步过滤；加入钾盐和钠盐粉末，再加入一定量的乙二醇，最后将溶液静置得到均一澄清的KNN前驱体溶液；然后在经过预热处理的硅基底上旋涂前驱体溶液并进行退火处理，重复多次旋涂退火得到理想的KNN薄膜。本发明通过改进溶胶‑凝胶法的非醇盐法和对硅衬底的处理，在普通(100)Si衬底上制备结晶性良好的KNN薄膜，且得到的KNN薄膜是在(001)晶向高度择优。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 制备 前驱体溶液 柠檬酸铌 择优取向 铌酸钾钠 过滤 退火 柠檬酸 络合反应 钠盐粉末 退火处理 预热处理 草酸铵 硅衬底 碱性PH 结晶性 凝胶法 氢氟酸 稳定剂 氧化铌 乙二醇 钾盐 衬底 称取 醇盐 滴加 硅基 晶向 均一 上旋 旋涂 洗涤 溶解 澄清 重复 改进 | ||
【主权项】：
1.一种高度择优取向的铌酸钾钠薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)称取氧化铌溶解于氢氟酸得到NbF5溶液，向NbF5溶液中先加入草酸铵，待其溶解后滴加碱性PH调试剂，得到白色沉淀Nb(OH)5，用去离子水洗涤Nb(OH)5沉淀并过滤；(2)将过滤后的Nb(OH)5与柠檬酸混合并加入去离子水，搅拌至澄清；(3)对步骤(2)所得澄清溶液进行过滤，获得澄清的过滤溶液；(4)向步骤(3)所得过滤溶液中先加入钾盐和钠盐，待其溶解后调节PH值，加入乙二醇，静置、得到澄清透明的铌酸钾钠前驱体溶液；(5)对硅片基底进行预热处理，然后在预热后的硅基底上旋涂所述铌酸钾钠前驱体溶液，得到表面覆有湿膜的硅片，放入真空干燥箱中保温，然后退火处理，得到铌酸钾钠薄膜。
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