[发明专利]一种适用于高纯介质提纯的换热器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910022318.2 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN109631621A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 甘万;杨欣 | 申请（专利权）人： | 上海盛韬半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F28D7/04 | 分类号： | F28D7/04;F28F21/08;B21D53/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种适用于高纯介质提纯的换热器，包括壳体和设置在壳体内的盘管；所述壳体从上而下依次由盖板、筒身、法兰和底板构成，所述盘管包括弯管、输入主管和输出主管，所述弯管呈圆环形结构，由数根内壁经过EP处理的不锈钢EP管再经盘管处理后紧密排列制成；所述弯管的进口端与输入主管连接，其出口端与输出主管连接，且所述弯管与输入主管和输出主管不在同一平面上。本发明还提供了一种适用于高纯介质提纯的换热器的制备方法。本发明的盘管为内壁经过EP处理的不锈钢EP管，更能适用于半导体行业所需要的高纯气体环境，提纯效果更好，且换热器管路采用盘管处理方式紧密排列，换热面积大，效率高，与同等换热效率的换热器相比，占地体积较小。 | ||
| 搜索关键词： | 换热器 盘管 弯管 主管 提纯 高纯 紧密排列 壳体 内壁 输出 不锈钢 制备 底板 半导体行业 换热器管路 圆环形结构 处理方式 从上而下 高纯气体 提纯效果 热效率 出口端 进口端 盖板 法兰 换热 经盘 筒身 体内 | ||
【主权项】：
1.一种适用于高纯介质提纯的换热器，其特征在于，包括壳体和设置在壳体内的盘管(1)；所述壳体从上而下依次由盖板(2)、筒身(3)、法兰(4)和底板(5)构成，所述盖板(2)、筒身(3)和法兰(4)通过焊接连接形成容纳盘管(1)的腔体，所述法兰(4)和底板(5)之间设有密封用的垫片，所述法兰(4)与底板(5)通过螺栓和螺母连接固定；所述盖板(2)上设有2个开口，分别为在换热器腔体内部温度升高时用于排气的排气口(6)，以及在清洗管路时用于排掉管路中的脏物和清洗介质的排净口(7)，所述盖板(2)的内侧设有2个用于固定盘管(1)的开槽(8)；所述底板(5)的内部设有4个开口，分别为换热介质进出的壳程进口(9)和壳程出口(10)，以及提纯的物质进出的管程进口(11)和管程出口(12)，所述底板(5)上还设有用于排放换热器腔体内物质的排放口(13)；所述盘管(1)包括弯管(14)、输入主管(15)和输出主管(16)，所述弯管(14)呈圆环形结构，由数根内壁经过EP处理的不锈钢EP管再经盘管处理后紧密排列制成；所述弯管(14)的进口端与输入主管(15)连接，其出口端与输出主管(16)连接，且所述弯管(14)与输入主管(15)和输出主管(16)不在同一平面上。
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